一种高效的硅片清洗用石英槽

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420357148.X

申请日：

2024-02-27

公开(公告)号：

CN222015366U

公开(公告)日：

2024-11-15

发明(设计)人：

汤芳常永喜张勇孙秋谨

申请人：

浙江浩鑫半导体材料有限公司

申请人地址：

313000 浙江省湖州市红丰路1366号3幢1245-6室

IPC主分类号：

H01L21/673

IPC分类号：

H01L21/67 B01F35/32 B01F27/90 B01F27/191 B08B3/08 B08B3/10 B08B13/00

代理机构：

南京科擎知识产权代理事务所(普通合伙) 32644

代理人：

巢一强

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-11-15	授权	授权

共 50 条

[1]

硅片清洗用石英槽 [P].

高翔鹰 ;

张少阳 ;

裴文龙 ;

陈晨 .

中国专利 :CN210586280U ,2020-05-22

[2]

一种用于硅片的石英清洗槽 [P].

汤芳 ;

常永喜 .

中国专利 :CN213905299U ,2021-08-06

[3]

一种石英硅片清洗槽机构 [P].

陶锡昆 .

中国专利 :CN214160712U ,2021-09-10

[4]

一种高效清洗的石英清洗槽 [P].

汤芳 ;

常永喜 ;

张勇 ;

孙秋谨 .

中国专利 :CN220781563U ,2024-04-16

[5]

一种硅片清洗用石英药液槽 [P].

陈文 .

中国专利 :CN209094040U ,2019-07-12

[6]

一种硅片清洗用双层石英槽 [P].

李杰 .

中国专利 :CN216988912U ,2022-07-19

[7]

一种可加热的硅片清洗用双层石英槽 [P].

李增祥 ;

李增兵 .

:CN221157878U ,2024-06-18

[8]

一种硅片清洗槽 [P].

刘彬国 ;

何京辉 ;

李立伟 ;

张立涛 ;

张稳 .

中国专利 :CN204289404U ,2015-04-22

[9]

一种硅片扩散用便于取放的石英清洗槽 [P].

汤芳 ;

常永喜 .

中国专利 :CN213905305U ,2021-08-06

[10]

一种硅片清洗槽 [P].

左国军 ;

万红朝 ;

余兴梅 ;

汤和平 .

中国专利 :CN222001188U ,2024-11-15

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