一种硅片扩散用便于取放的石英清洗槽

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202022913569.0

申请日：

2020-12-08

公开(公告)号：

CN213905305U

公开(公告)日：

2021-08-06

发明(设计)人：

汤芳常永喜

申请人：

申请人地址：

313106 浙江省湖州市长兴县洪桥镇工业园区

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

B08B304 B08B1300

代理机构：

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-08-06	授权	授权

共 50 条

[1]

一种便于取放硅片的石英舟 [P].

汤芳 ;

常永喜 .

中国专利 :CN213905322U ,2021-08-06

[2]

一种高效的硅片清洗用石英槽 [P].

汤芳 ;

常永喜 ;

张勇 ;

孙秋谨 .

中国专利 :CN222015366U ,2024-11-15

[3]

硅片清洗用石英槽 [P].

高翔鹰 ;

张少阳 ;

裴文龙 ;

陈晨 .

中国专利 :CN210586280U ,2020-05-22

[4]

一种用于硅片的石英清洗槽 [P].

汤芳 ;

常永喜 .

中国专利 :CN213905299U ,2021-08-06

[5]

一种石英硅片清洗槽机构 [P].

陶锡昆 .

中国专利 :CN214160712U ,2021-09-10

[6]

一种扩散石英舟清洗槽 [P].

蔡晓晨 ;

王敬蕊 .

中国专利 :CN202860906U ,2013-04-10

[7]

一种硅片清洗用石英药液槽 [P].

陈文 .

中国专利 :CN209094040U ,2019-07-12

[8]

一种硅片清洗用双层石英槽 [P].

李杰 .

中国专利 :CN216988912U ,2022-07-19

[9]

一种硅片扩散用石英舟激光清洗设备 [P].

李宏亮 ;

李洪 ;

陈学传 ;

丁峰 ;

程瑞 ;

文香炎 .

中国专利 :CN221869579U ,2024-10-22

[10]

一种钢材清洗用便于取放钢材的清洗装置 [P].

何昊 ;

刘庆生 ;

李振涛 .

中国专利 :CN218133587U ,2022-12-27

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