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硅片清洗用酸洗水洗槽
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202323176255.7
申请日：
2023-11-23
公开(公告)号：
CN221201112U
公开(公告)日：
2024-06-21
发明(设计)人：
魏兴政
李浩
申请人：
济南兰星电子有限公司
申请人地址：
250200 山东省济南市章丘区明水街道赭山工业园
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
H01L21/677
B08B3/02
B08B3/08
代理机构：
济南誉琨知识产权代理事务所(普通合伙) 37278
代理人：
贾羽洁
法律状态：
授权
国省代码：
山东省
济南市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-06-21 | 授权 | 授权 |