一种平面度检测装置及其检测方法

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申请号
CN202210089123.1
申请日
2022-01-25
公开(公告)号
CN114370810A
公开(公告)日
2022-04-19
发明(设计)人
程永亮 麻成标 许正根 解金东 张思颖 徐震 董明晶
申请人
申请人地址
410100 湖南省长沙市长沙经济技术开发区东七线88号
IPC主分类号
G01B528
IPC分类号
代理机构
长沙七源专利代理事务所(普通合伙) 43214
代理人
刘伊旸;周晓艳
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
一种平面度检测装置 [P]. 
程永亮 ;
麻成标 ;
许正根 ;
解金东 ;
张思颖 ;
徐震 ;
董明晶 .
中国专利 :CN216694801U ,2022-06-07
[2]
一种背板平面度检测装置及其检测方法 [P]. 
庄金雷 ;
王飞阳 ;
车景国 ;
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[3]
一种平面度检测装置及检测平面度的方法 [P]. 
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[4]
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[7]
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[8]
一种光热背板平面度检测装置及其检测方法 [P]. 
宋子实 .
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[9]
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[10]
一种平面度检测装置及检测方法 [P]. 
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