一种吸附板平面度检测装置及其检测方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202010720844.9
申请日
2020-07-24
公开(公告)号
CN111854652A
公开(公告)日
2020-10-30
发明(设计)人
王小炜 陈俊儒 钟莉君 赵宁波 闵宽亮 曹葵康 蔡雄飞
申请人
申请人地址
215000 江苏省苏州市高新区科技城浔阳江路70号
IPC主分类号
G01B1130
IPC分类号
代理机构
上海华诚知识产权代理有限公司 31300
代理人
徐颖聪
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
一种平面度检测装置及其检测方法 [P]. 
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[7]
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[8]
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[9]
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