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一种电子产品制造用晶圆清洗设备
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202321577076.1
申请日：
2023-06-20
公开(公告)号：
CN220420532U
公开(公告)日：
2024-01-30
发明(设计)人：
许贺飞
申请人：
天津凡通电子科技有限公司
申请人地址：
300450 天津市滨海新区经济技术开发区洞庭路10号三楼320室(天创(天津)商务秘书有限公司托管第243号)
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
专利申请权、专利权的转移
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-09-03 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移IPC(主分类):H01L 21/67登记生效日:20240819变更事项:专利权人变更前权利人:天津凡通电子科技有限公司变更后权利人:科文电子科技（滨州）有限公司变更事项:国家或地区变更前权利人:中国变更后权利人:中国变更事项:地址变更前权利人:300450 天津市滨海新区经济技术开发区洞庭路10号三楼320室(天创(天津)商务秘书有限公司托管第243号)变更后权利人:256600 山东省滨州市无棣县棣丰街道海丰十五路明湖花苑北门西20米 |
| 2024-01-30 | 授权 | 授权 |