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一种电子产品内置芯片生产用晶圆清洗设备
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202022964958.6
申请日：
2020-12-11
公开(公告)号：
CN213401119U
公开(公告)日：
2021-06-08
发明(设计)人：
赵峰
申请人：
申请人地址：
214000 江苏省无锡市广益路311-1337
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
代理机构：
无锡知更鸟知识产权代理事务所(普通合伙) 32468
代理人：
张涛
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-06-08 | 授权 | 授权 |