一种沟槽型碳化硅MOSFET器件结构及其制备方法

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专利类型
发明
申请号
CN202311524270.8
申请日
2023-11-16
公开(公告)号
CN117238972B
公开(公告)日
2024-04-16
发明(设计)人
汪之涵 温正欣 和巍巍
申请人
深圳基本半导体有限公司
申请人地址
518000 广东省深圳市坪山区坑梓街道办事处秀新社区锦绣中路14号深福保现代光学厂区B栋201
IPC主分类号
H01L29/78
IPC分类号
H01L29/06 H01L29/10 H01L21/336
代理机构
深圳国新南方知识产权代理有限公司 44374
代理人
李小东
法律状态
专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更
国省代码
广东省 深圳市
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共 50 条
[1]
一种沟槽型碳化硅MOSFET器件结构及其制备方法 [P]. 
汪之涵 ;
喻双柏 ;
温正欣 .
中国专利 :CN115394853A ,2022-11-25
[2]
一种沟槽型碳化硅MOSFET器件结构及其制备方法 [P]. 
温正欣 ;
喻双柏 ;
郑泽东 ;
张学强 ;
和巍巍 .
中国专利 :CN113745338A ,2021-12-03
[3]
碳化硅沟槽MOSFET器件及制备方法 [P]. 
张金平 ;
王鹏蛟 ;
吴庆霖 ;
刘竞秀 ;
张波 .
中国专利 :CN112687745B ,2021-04-20
[4]
沟槽型碳化硅MOSFET器件及其制备方法 [P]. 
何海洋 ;
陈蕾 .
中国专利 :CN118248737A ,2024-06-25
[5]
沟槽型碳化硅MOSFET器件及其制备方法 [P]. 
何海洋 ;
陈蕾 .
中国专利 :CN118248737B ,2024-10-01
[6]
一种沟槽型碳化硅MOSFET器件及其制备方法 [P]. 
朱袁正 ;
朱晨凯 ;
杨卓 ;
黄薛佺 ;
叶鹏 .
中国专利 :CN120091607A ,2025-06-03
[7]
一种碳化硅MOSFET器件及其制备方法 [P]. 
金锐 ;
罗伟霞 ;
牛喜平 ;
桑玲 ;
张文婷 ;
田琰 ;
李晨萌 ;
崔翔 ;
李哲洋 ;
王鑫 ;
李宾宾 .
中国专利 :CN117393609A ,2024-01-12
[8]
分裂栅型沟槽碳化硅MOSFET器件及其制备方法 [P]. 
李平 .
中国专利 :CN118630053A ,2024-09-10
[9]
沟槽型碳化硅逆阻MOSFET器件及其制备方法 [P]. 
张金平 ;
王鹏蛟 ;
兰逸飞 ;
刘竞秀 ;
张波 .
中国专利 :CN112687743B ,2021-04-20
[10]
一种沟槽型碳化硅MOSFET器件及其制备方法 [P]. 
温建功 ;
杨乐 ;
张朝阳 ;
陈桥梁 ;
郑丽君 .
中国专利 :CN120282501B ,2025-08-08