成膜装置及成膜方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911315409.1

申请日：

2019-12-19

公开(公告)号：

CN111748772B

公开(公告)日：

2024-01-02

发明(设计)人：

市原正浩

申请人：

佳能特机株式会社

申请人地址：

日本新泻县

IPC主分类号：

C23C14/24

IPC分类号：

C23C14/54

代理机构：

中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038

代理人：

韩卉

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-01-02	授权	授权

共 50 条

[1]

成膜装置及成膜方法 [P].

市原正浩 .

中国专利 :CN111748772A ,2020-10-09

[2]

成膜装置和成膜方法 [P].

中川善之 ;

中野真吾 ;

福田直人 .

中国专利 :CN102465263A ,2012-05-23

[3]

成膜装置和成膜方法 [P].

中川善之 ;

中野真吾 ;

福田直人 .

中国专利 :CN102465276A ,2012-05-23

[4]

成膜装置 [P].

中川善之 ;

中野真吾 ;

福田直人 .

中国专利 :CN102465262A ,2012-05-23

[5]

成膜装置、成膜系统及成膜方法 [P].

茂山和基 ;

野泽俊久 .

中国专利 :CN101501238A ,2009-08-05

[6]

成膜装置及成膜方法 [P].

山本昌裕 .

中国专利 :CN103443324B ,2013-12-11

[7]

成膜装置及成膜方法 [P].

藤森正成 ;

峰利之 ;

大桥直史 .

中国专利 :CN103088317A ,2013-05-08

[8]

成膜方法及成膜装置 [P].

野吕充则 ;

中村真也 ;

高井昇一 .

日本专利 :CN121039316A ,2025-11-28

[9]

成膜装置及成膜方法 [P].

松中繁树 ;

藤田笃史 .

日本专利 :CN116057669B ,2025-03-21

[10]

成膜装置及成膜方法 [P].

中尾裕利 ;

佐藤诚一 ;

柴智志 ;

坂内雄也 ;

木村孔 .

中国专利 :CN106133188A ,2016-11-16

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