成膜装置和成膜方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110339500.4

申请日：

2011-11-01

公开(公告)号：

CN102465276A

公开(公告)日：

2012-05-23

发明(设计)人：

中川善之中野真吾福田直人

申请人：

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

C23C1454

IPC分类号：

C23C1424

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038

代理人：

钱亚卓

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-07-04	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101282315877 IPC(主分类):C23C 14/54 专利申请号:2011103395004 申请日:20111101
2012-05-23	公开	公开
2016-05-04	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101731808958 IPC(主分类):C23C 14/54 专利申请号:2011103395004 申请公布日:20120523

共 50 条

[1]

成膜装置和成膜方法 [P].

中川善之 ;

中野真吾 ;

福田直人 .

中国专利 :CN102465263A ,2012-05-23

[2]

成膜装置 [P].

中川善之 ;

中野真吾 ;

福田直人 .

中国专利 :CN102465262A ,2012-05-23

[3]

成膜装置及成膜方法 [P].

市原正浩 .

中国专利 :CN111748772A ,2020-10-09

[4]

成膜装置及成膜方法 [P].

市原正浩 .

日本专利 :CN111748772B ,2024-01-02

[5]

成膜方法和成膜装置 [P].

小林洋介 ;

林信博 ;

饭岛正行 ;

多田勋 .

中国专利 :CN102016106A ,2011-04-13

[6]

成膜装置、成膜系统和成膜方法 [P].

松林信次 ;

茂山和基 ;

户部康弘 .

中国专利 :CN101501241A ,2009-08-05

[7]

成膜装置、成膜头和成膜方法 [P].

小野裕司 ;

林辉幸 .

中国专利 :CN102575347B ,2012-07-11

[8]

成膜装置、成膜单元和成膜方法 [P].

饭塚贵嗣 .

日本专利 :CN116438326B ,2024-04-12

[9]

成膜方法和成膜装置 [P].

三好秀典 ;

伊藤仁 ;

佐藤浩 .

中国专利 :CN102686773A ,2012-09-19

[10]

成膜装置和成膜方法 [P].

广田悟史 ;

山本兼司 ;

玉垣浩 .

中国专利 :CN103088287B ,2013-05-08

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