成膜装置、成膜头和成膜方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201080044833.8

申请日：

2010-09-30

公开(公告)号：

CN102575347B

公开(公告)日：

2012-07-11

发明(设计)人：

小野裕司林辉幸

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

C23C16455

IPC分类号：

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司 11322

代理人：

龙淳

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-09-14	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 16/455 申请日:20100930 授权公告日:20140226 终止日期:20200930
2012-07-11	公开	公开
2012-09-12	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101324729551 IPC(主分类):C23C 16/455 专利申请号:2010800448338 申请日:20100930
2014-02-26	授权	授权

共 50 条

[1]

成膜方法和成膜装置 [P].

盐野一郎 ;

林达也 ;

姜友松 ;

长江亦周 ;

宫内充祐 ;

佐守真悟 .

中国专利 :CN103154299A ,2013-06-12

[2]

成膜方法和成膜装置 [P].

内田敏治 ;

松本行生 .

日本专利 :CN112981331B ,2024-03-08

[3]

成膜装置和成膜方法 [P].

中川善之 ;

中野真吾 ;

福田直人 .

中国专利 :CN102465263A ,2012-05-23

[4]

成膜方法和成膜装置 [P].

梶山康一 ;

水村通伸 .

中国专利 :CN106536066A ,2017-03-22

[5]

成膜方法和成膜装置 [P].

母仓修司 ;

大松一也 .

中国专利 :CN1265016C ,2004-04-14

[6]

成膜方法和成膜装置 [P].

内田敏治 ;

松本行生 .

中国专利 :CN112981331A ,2021-06-18

[7]

成膜方法和成膜装置 [P].

盐野一郎 ;

林达也 ;

姜友松 ;

长江亦周 ;

宫内充祐 ;

佐守真悟 .

中国专利 :CN103154298A ,2013-06-12

[8]

成膜装置、成膜系统和成膜方法 [P].

松林信次 ;

茂山和基 ;

户部康弘 .

中国专利 :CN101501241A ,2009-08-05

[9]

成膜装置、成膜单元和成膜方法 [P].

饭塚贵嗣 .

日本专利 :CN116438326B ,2024-04-12

[10]

成膜装置、成膜系统及成膜方法 [P].

茂山和基 ;

野泽俊久 .

中国专利 :CN101501238A ,2009-08-05

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