成膜方法和成膜装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201280003216.2

申请日：

2012-09-26

公开(公告)号：

CN103154299A

公开(公告)日：

2013-06-12

发明(设计)人：

盐野一郎林达也姜友松长江亦周宫内充祐佐守真悟

申请人：

申请人地址：

日本神奈川县

IPC主分类号：

C23C1402

IPC分类号：

C23C1422

代理机构：

北京三友知识产权代理有限公司 11127

代理人：

丁香兰;庞东成

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-10-29	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101587805430 IPC(主分类):C23C 14/02 专利申请号:2012800032162 申请日:20120926
2017-04-05	授权	授权
2013-06-12	公开	公开

共 50 条

[1]

成膜方法和成膜装置 [P].

盐野一郎 ;

林达也 ;

姜友松 ;

长江亦周 ;

宫内充祐 ;

佐守真悟 .

中国专利 :CN103154298A ,2013-06-12

[2]

成膜方法及成膜装置 [P].

盐野一郎 ;

宫内充祐 ;

姜友松 .

中国专利 :CN103140598B ,2013-06-05

[3]

成膜装置、成膜头和成膜方法 [P].

小野裕司 ;

林辉幸 .

中国专利 :CN102575347B ,2012-07-11

[4]

成膜方法和成膜装置 [P].

加藤寿 ;

牛窪繁博 ;

田村辰也 ;

尾崎成则 ;

熊谷武司 ;

菊地宏之 .

中国专利 :CN102787304A ,2012-11-21

[5]

成膜装置和成膜方法 [P].

加藤寿 ;

三浦繁博 .

中国专利 :CN103526183A ,2014-01-22

[6]

成膜方法和成膜装置 [P].

内田敏治 ;

松本行生 .

日本专利 :CN112981331B ,2024-03-08

[7]

成膜方法和成膜装置 [P].

石田将崇 ;

林达也 ;

菅原卓哉 ;

我妻伸哉 ;

宫内充祐 ;

姜友松 ;

长江亦周 .

中国专利 :CN106256927B ,2016-12-28

[8]

成膜装置和成膜方法 [P].

矢部和雄 ;

清水亮 .

中国专利 :CN105177525A ,2015-12-23

[9]

成膜装置和成膜方法 [P].

桑田拓岳 ;

布重裕 ;

藤井康 .

中国专利 :CN110872702B ,2020-03-10

[10]

成膜装置和成膜方法 [P].

高木俊夫 .

中国专利 :CN101689500A ,2010-03-31

← 1 2 3 4 5 →