成膜方法和成膜装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210155103.6

申请日：

2012-05-17

公开(公告)号：

CN102787304A

公开(公告)日：

2012-11-21

发明(设计)人：

加藤寿牛窪繁博田村辰也尾崎成则熊谷武司菊地宏之

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

C23C1650

IPC分类号：

C23C16455 H01L2131

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇;张会华

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-11-21	公开	公开
2013-11-20	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101544122278 IPC(主分类):C23C 16/50 专利申请号:2012101551036 申请日:20120517
2015-07-29	授权	授权

共 50 条

[1]

成膜装置和成膜方法 [P].

加藤寿 ;

本间学 ;

菊地宏之 .

中国专利 :CN101859694B ,2010-10-13

[2]

成膜装置和成膜方法 [P].

加藤寿 ;

菱谷克幸 ;

菊地宏之 ;

牛窪繁博 ;

尾崎成则 .

中国专利 :CN102776491A ,2012-11-14

[3]

成膜装置和成膜方法 [P].

尾崎成则 ;

加藤寿 ;

熊谷武司 .

中国专利 :CN102383109B ,2012-03-21

[4]

成膜装置和成膜方法 [P].

加藤寿 ;

熊谷武司 .

中国专利 :CN102732854B ,2012-10-17

[5]

成膜方法和成膜装置 [P].

熊谷武司 ;

尾谷宗之 ;

大久保和哉 .

中国专利 :CN105039929B ,2015-11-11

[6]

成膜装置及成膜方法 [P].

加藤寿 ;

三浦繁博 .

中国专利 :CN103243309A ,2013-08-14

[7]

成膜装置和成膜方法 [P].

加藤寿 ;

本间学 ;

菊地宏之 .

中国专利 :CN101826446A ,2010-09-08

[8]

成膜方法和成膜装置 [P].

门田太一 .

中国专利 :CN110714191B ,2020-01-21

[9]

成膜装置和成膜方法 [P].

福岛讲平 .

中国专利 :CN104947081A ,2015-09-30

[10]

成膜方法和成膜装置 [P].

三浦纮树 ;

小堆正人 .

中国专利 :CN110218989B ,2019-09-10

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