成膜装置和成膜方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010122653.9

申请日：

2010-03-03

公开(公告)号：

CN101826446A

公开(公告)日：

2010-09-08

发明(设计)人：

加藤寿本间学菊地宏之

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L2100

IPC分类号：

C23C16455

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇;张会华

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-04-30	授权	授权
2010-09-08	公开	公开
2011-11-09	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101130715036 IPC(主分类):H01L 21/00 专利申请号:2010101226539 申请日:20100303

共 50 条

[1]

成膜方法和成膜装置 [P].

加藤寿 ;

牛窪繁博 ;

田村辰也 ;

尾崎成则 ;

熊谷武司 ;

菊地宏之 .

中国专利 :CN102787304A ,2012-11-21

[2]

成膜方法和成膜装置 [P].

门田太一 .

中国专利 :CN110714191B ,2020-01-21

[3]

成膜装置和成膜方法 [P].

福岛讲平 .

中国专利 :CN104947081A ,2015-09-30

[4]

成膜方法和成膜装置 [P].

三浦纮树 ;

小堆正人 .

中国专利 :CN110218989B ,2019-09-10

[5]

成膜装置和成膜方法 [P].

加藤寿 ;

本间学 ;

菊地宏之 .

中国专利 :CN101859694B ,2010-10-13

[6]

成膜方法和成膜装置 [P].

铃木启介 ;

村上博纪 ;

菱屋晋吾 ;

门永健太郎 ;

小幡穣 .

中国专利 :CN104928647A ,2015-09-23

[7]

成膜方法和成膜装置 [P].

熊谷武司 ;

尾谷宗之 ;

大久保和哉 .

中国专利 :CN105039929B ,2015-11-11

[8]

成膜装置和成膜方法 [P].

加藤寿 ;

竹内靖 .

中国专利 :CN102433547B ,2012-05-02

[9]

成膜装置和成膜方法 [P].

仙波昌平 ;

里吉务 ;

田中诚治 .

中国专利 :CN105316654B ,2016-02-10

[10]

成膜装置和成膜方法 [P].

尾崎成则 ;

加藤寿 ;

熊谷武司 .

中国专利 :CN102383109B ,2012-03-21

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