成膜方法和成膜装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510117064.4

申请日：

2015-03-17

公开(公告)号：

CN104928647A

公开(公告)日：

2015-09-23

发明(设计)人：

铃木启介村上博纪菱屋晋吾门永健太郎小幡穣

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

C23C1634

IPC分类号：

C23C16455 H01L2167

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇;张会华

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-08-07	授权	授权
2015-09-23	公开	公开
2016-11-09	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101687204146 IPC(主分类):C23C 16/34 专利申请号:2015101170644 申请日:20150317

共 50 条

[1]

成膜装置和成膜方法 [P].

福岛讲平 .

中国专利 :CN104947081A ,2015-09-30

[2]

成膜方法和成膜装置 [P].

门田太一 .

中国专利 :CN110714191B ,2020-01-21

[3]

成膜方法和成膜装置 [P].

三浦纮树 ;

小堆正人 .

中国专利 :CN110218989B ,2019-09-10

[4]

成膜方法和成膜装置 [P].

熊谷武司 ;

尾谷宗之 ;

大久保和哉 .

中国专利 :CN105039929B ,2015-11-11

[5]

成膜方法和成膜装置 [P].

池内俊之 ;

周保华 ;

山本和弥 ;

世良贤太郎 .

中国专利 :CN102345111A ,2012-02-08

[6]

成膜方法及成膜装置 [P].

铃木启介 ;

周保华 ;

张德清 .

中国专利 :CN102677021A ,2012-09-19

[7]

成膜装置和成膜方法 [P].

加藤寿 ;

本间学 ;

菊地宏之 .

中国专利 :CN101826446A ,2010-09-08

[8]

成膜方法和成膜装置 [P].

加藤寿 ;

牛窪繁博 ;

田村辰也 ;

尾崎成则 ;

熊谷武司 ;

菊地宏之 .

中国专利 :CN102787304A ,2012-11-21

[9]

成膜方法和成膜装置 [P].

高桥毅 ;

柿本明修 ;

通口健介 ;

出野由和 ;

佐野正树 .

日本专利 :CN120659906A ,2025-09-16

[10]

成膜装置和成膜方法 [P].

加藤寿 ;

本间学 ;

菊地宏之 .

中国专利 :CN101859694B ,2010-10-13

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