成膜方法和成膜装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202480011828.9

申请日：

2024-02-06

公开(公告)号：

CN120659906A

公开(公告)日：

2025-09-16

发明(设计)人：

高桥毅柿本明修通口健介出野由和佐野正树

申请人：

东京毅力科创株式会社

申请人地址：

日本

IPC主分类号：

C23C16/34

IPC分类号：

C23C16/448 C23C16/455 H01L21/28 H01L21/285

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

王小香;李靖

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-09-16	公开	公开
2025-10-03	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 16/34申请日:20240206

共 50 条

[1]

成膜方法和成膜装置 [P].

铃木启介 ;

村上博纪 ;

菱屋晋吾 ;

门永健太郎 ;

小幡穣 .

中国专利 :CN104928647A ,2015-09-23

[2]

成膜方法和成膜装置 [P].

芦泽宏明 ;

藤井康 ;

高桥毅 ;

洪锡亨 ;

山崎和良 ;

中村秀雄 ;

布重裕 ;

神尾卓史 .

中国专利 :CN108796471B ,2018-11-13

[3]

成膜方法和成膜装置 [P].

池内俊之 ;

周保华 ;

山本和弥 ;

世良贤太郎 .

中国专利 :CN102345111A ,2012-02-08

[4]

氮化钛膜的成膜方法和氮化钛膜的成膜装置 [P].

高桥毅 ;

洪锡亨 ;

樋口健介 .

中国专利 :CN115323351A ,2022-11-11

[5]

氮化钛膜的成膜方法和氮化钛膜的成膜装置 [P].

高桥毅 ;

洪锡亨 ;

樋口健介 .

日本专利 :CN115323351B ,2024-09-17

[6]

成膜方法和成膜装置 [P].

藤田成树 .

日本专利 :CN120530226A ,2025-08-22

[7]

成膜方法和成膜装置 [P].

门田太一 .

中国专利 :CN110714191B ,2020-01-21

[8]

成膜装置和成膜方法 [P].

福岛讲平 .

中国专利 :CN104947081A ,2015-09-30

[9]

成膜方法和成膜装置 [P].

三浦纮树 ;

小堆正人 .

中国专利 :CN110218989B ,2019-09-10

[10]

成膜装置和成膜方法 [P].

佐佐木和男 ;

町山弥 ;

齐藤均 ;

佐佐木芳彦 .

日本专利 :CN115522181B ,2024-07-30

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