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氮化钛膜的成膜方法和氮化钛膜的成膜装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202210472341.3
申请日：
2022-04-29
公开(公告)号：
CN115323351B
公开(公告)日：
2024-09-17
发明(设计)人：
高桥毅
洪锡亨
樋口健介
申请人：
东京毅力科创株式会社
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
C23C16/34
IPC分类号：
C23C16/455
H01L21/02
代理机构：
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277
代理人：
刘新宇
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-09-17 | 授权 | 授权 |