氮化钛膜的成膜

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200480038982.8

申请日：

2004-12-27

公开(公告)号：

CN1898410A

公开(公告)日：

2007-01-17

发明(设计)人：

村上诚志多田国弘

申请人：

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

C23C1634

IPC分类号：

H01L2128 H01L21285

代理机构：

北京纪凯知识产权代理有限公司

代理人：

龙淳

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2007-03-14	实质审查的生效	实质审查的生效
2010-09-29	授权	授权
2007-01-17	公开	公开
2016-02-17	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101647079813 IPC(主分类):C23C 16/34 专利号:ZL2004800389828 申请日:20041227 授权公告日:20100929 终止日期:20141227

共 50 条

[1]

氮化钛膜的成膜方法和氮化钛膜的成膜装置 [P].

高桥毅 ;

洪锡亨 ;

樋口健介 .

中国专利 :CN115323351A ,2022-11-11

[2]

氮化钛膜的成膜方法和氮化钛膜的成膜装置 [P].

高桥毅 ;

洪锡亨 ;

樋口健介 .

日本专利 :CN115323351B ,2024-09-17

[3]

氮化钛膜的形成方法和氮化钛膜的形成装置 [P].

两角友一朗 ;

菱屋晋吾 ;

原田豪繁 .

中国专利 :CN102655085A ,2012-09-05

[4]

氮化钛膜制备方法 [P].

毕新儒 ;

赵显伟 ;

李文卓 ;

马培培 .

中国专利 :CN104911539A ,2015-09-16

[5]

氮化钛膜制备方法 [P].

赵显伟 ;

毕新儒 .

中国专利 :CN104911550A ,2015-09-16

[6]

氮化钛膜的形成方法 [P].

亨利J·拉莫斯 .

中国专利 :CN1623008A ,2005-06-01

[7]

用于氮化钛膜层沉积的工艺腔室及氮化钛膜层沉积方法 [P].

杜立勇 .

中国专利 :CN115704085A ,2023-02-17

[8]

用于氮化钛膜层沉积的工艺腔室及氮化钛膜层沉积方法 [P].

杜立勇 .

中国专利 :CN115704085B ,2025-12-12

[9]

镀有单层氮化钛膜的阳光控制膜玻璃 [P].

陈国平 ;

张随新 ;

陈公乃 .

中国专利 :CN2194908Y ,1995-04-19

[10]

氮化钛膜制备方法和装置 [P].

康俊龙 .

中国专利 :CN113388825A ,2021-09-14

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