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氮化膜的成膜方法及氮化膜的成膜装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201911393207.9
申请日：
2019-12-30
公开(公告)号：
CN111424258B
公开(公告)日：
2024-01-23
发明(设计)人：
村上博纪
申请人：
东京毅力科创株式会社
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
C23C16/34
IPC分类号：
C23C16/455
C23C16/50
代理机构：
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277
代理人：
刘新宇;李茂家
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-01-23 | 授权 | 授权 |