钛膜的成膜方法和钛膜的成膜装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200810185711.5

申请日：

2008-12-08

公开(公告)号：

CN101451234B

公开(公告)日：

2009-06-10

发明(设计)人：

成嶋健索熊谷晃若林哲

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L21285

IPC分类号：

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司 11322

代理人：

龙淳

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-06-10	公开	公开
2022-11-18	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/285 申请日:20081208 授权公告日:20120606 终止日期:20211208
2012-06-06	授权	授权
2009-08-05	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

氮化钛膜的成膜方法和氮化钛膜的成膜装置 [P].

高桥毅 ;

洪锡亨 ;

樋口健介 .

中国专利 :CN115323351A ,2022-11-11

[2]

氮化钛膜的成膜方法和氮化钛膜的成膜装置 [P].

高桥毅 ;

洪锡亨 ;

樋口健介 .

日本专利 :CN115323351B ,2024-09-17

[3]

成膜装置和成膜方法 [P].

松浦广行 .

中国专利 :CN1837404A ,2006-09-27

[4]

成膜方法和成膜装置 [P].

中村和仁 ;

山崎英亮 ;

河野有美子 .

中国专利 :CN101128620A ,2008-02-20

[5]

成膜装置和成膜方法 [P].

松本贤治 ;

三好秀典 .

中国专利 :CN102395705A ,2012-03-28

[6]

成膜方法和成膜装置 [P].

松本贤治 ;

迫田智幸 ;

那须胜行 ;

池田岳 .

中国专利 :CN100541737C ,2007-07-04

[7]

成膜方法和成膜装置 [P].

三好秀典 ;

伊藤仁 ;

佐藤浩 .

中国专利 :CN102686773A ,2012-09-19

[8]

成膜方法和成膜装置 [P].

小野寺聪 ;

户根川大和 ;

小川淳 .

日本专利 :CN118086867A ,2024-05-28

[9]

成膜装置和成膜方法 [P].

前田幸治 ;

岛田笃史 ;

及川克志 ;

宫下哲也 .

中国专利 :CN114174552A ,2022-03-11

[10]

成膜方法和成膜装置 [P].

菊池康晃 ;

山口达也 ;

小原一辉 ;

草岛龙司 .

中国专利 :CN111850512A ,2020-10-30

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