成膜方法和成膜装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200680006297.6

申请日：

2006-07-07

公开(公告)号：

CN101128620A

公开(公告)日：

2008-02-20

发明(设计)人：

中村和仁山崎英亮河野有美子

申请人：

申请人地址：

日本国东京都

IPC主分类号：

C23C1642

IPC分类号：

C23C1646 C23C16455 H01L21285

代理机构：

北京纪凯知识产权代理有限公司

代理人：

龙淳

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-04-16	实质审查的生效	实质审查的生效
2010-07-28	授权	授权
2015-09-02	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101623047801 IPC(主分类):C23C 16/42 专利号:ZL2006800062976 申请日:20060707 授权公告日:20100728 终止日期:20140707
2008-02-20	公开	公开

共 50 条

[1]

成膜方法和成膜装置 [P].

山崎英亮 ;

河野有美子 .

中国专利 :CN101253282A ,2008-08-27

[2]

成膜方法和成膜装置 [P].

三好秀典 ;

伊藤仁 ;

佐藤浩 .

中国专利 :CN102686773A ,2012-09-19

[3]

成膜装置和成膜方法 [P].

松浦广行 .

中国专利 :CN1837404A ,2006-09-27

[4]

成膜装置和成膜方法 [P].

千田二郎 ;

大岛元启 ;

石田耕三 ;

富永浩二 .

中国专利 :CN100527362C ,2008-03-12

[5]

成膜方法和成膜装置 [P].

松永正信 ;

铃木启介 ;

张宰赫 ;

周保华 ;

米泽雅人 ;

长谷川雅之 ;

长谷部一秀 .

中国专利 :CN102097302A ,2011-06-15

[6]

成膜方法和成膜装置 [P].

铃木启介 ;

门永健太郎 ;

森良孝 .

中国专利 :CN102828163B ,2012-12-19

[7]

成膜装置和成膜方法 [P].

松本贤治 ;

三好秀典 .

中国专利 :CN102395705A ,2012-03-28

[8]

成膜方法和成膜装置 [P].

松本贤治 ;

迫田智幸 ;

那须胜行 ;

池田岳 .

中国专利 :CN100541737C ,2007-07-04

[9]

成膜装置和成膜方法 [P].

松本贤治 ;

佐藤浩 ;

大平达也 ;

町田英明 ;

石川真人 .

中国专利 :CN101426950A ,2009-05-06

[10]

成膜装置和成膜方法 [P].

长谷川彰 ;

黑田俊也 ;

真田隆 .

中国专利 :CN103154313B ,2013-06-12

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