成膜装置和成膜方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200680008202.4

申请日：

2006-03-10

公开(公告)号：

CN100527362C

公开(公告)日：

2008-03-12

发明(设计)人：

千田二郎大岛元启石田耕三富永浩二

申请人：

申请人地址：

日本国京都府

IPC主分类号：

H01L2131

IPC分类号：

代理机构：

上海市华诚律师事务所

代理人：

徐申民;董红曼

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-03-12	公开	公开
2016-04-27	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101658325401 IPC(主分类):H01L 21/31 专利号:ZL2006800082024 申请日:20060310 授权公告日:20090812 终止日期:20150310
2009-08-12	授权	授权

共 50 条

[1]

成膜装置 [P].

佐藤英儿 ;

坂本仁志 .

日本专利 :CN115725955B ,2025-07-22

[2]

成膜方法和成膜装置 [P].

松本贤治 ;

迫田智幸 ;

那须胜行 ;

池田岳 .

中国专利 :CN100541737C ,2007-07-04

[3]

成膜装置和成膜方法 [P].

今北健一 ;

小野一修 ;

北田亨 ;

佐藤圭祐 ;

五味淳 ;

横原宏行 ;

曽根浩 .

中国专利 :CN113366139A ,2021-09-07

[4]

氧化膜成膜方法及氧化膜成膜装置 [P].

织田容征 ;

白幡孝洋 ;

平松孝浩 .

中国专利 :CN103648974A ,2014-03-19

[5]

成膜方法和成膜装置 [P].

高木聪 ;

北村和也 ;

蔡秀林 .

日本专利 :CN112582254B ,2025-07-29

[6]

成膜方法和成膜装置 [P].

山崎英亮 ;

河野有美子 .

中国专利 :CN101253282A ,2008-08-27

[7]

成膜方法和成膜装置 [P].

中村和仁 ;

山崎英亮 ;

河野有美子 .

中国专利 :CN101128620A ,2008-02-20

[8]

成膜方法和成膜装置 [P].

高木聪 ;

北村和也 ;

蔡秀林 .

中国专利 :CN112582254A ,2021-03-30

[9]

成膜装置和成膜方法 [P].

长谷川彰 ;

黑田俊也 ;

真田隆 .

中国专利 :CN103154313B ,2013-06-12

[10]

CVD成膜方法和CVD成膜装置 [P].

三好秀典 .

中国专利 :CN101495673B ,2009-07-29

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