成膜装置和成膜方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201980090999.4

申请日：

2019-09-20

公开(公告)号：

CN113366139A

公开(公告)日：

2021-09-07

发明(设计)人：

今北健一小野一修北田亨佐藤圭祐五味淳横原宏行曽根浩

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

C23C1458 H01L4310 H01L4312

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇

法律状态：

发明专利申请公布后的撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-03-04	发明专利申请公布后的撤回	发明专利申请公布后的撤回 IPC(主分类):C23C 14/34 申请公布日:20210907
2021-09-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/34 申请日:20190920
2021-09-07	公开	公开

共 50 条

[1]

成膜方法和成膜装置 [P].

松本贤治 ;

迫田智幸 ;

那须胜行 ;

池田岳 .

中国专利 :CN100541737C ,2007-07-04

[2]

成膜装置 [P].

今北健一 ;

小岛康彦 ;

五味淳 ;

横原宏行 ;

曾根浩 .

中国专利 :CN112011768A ,2020-12-01

[3]

成膜装置和成膜方法 [P].

千田二郎 ;

大岛元启 ;

石田耕三 ;

富永浩二 .

中国专利 :CN100527362C ,2008-03-12

[4]

成膜方法和成膜装置 [P].

菊池康晃 ;

山口达也 ;

小原一辉 ;

草岛龙司 .

中国专利 :CN111850512A ,2020-10-30

[5]

成膜方法和成膜装置 [P].

石坂忠大 ;

佐久间隆 ;

波多野达夫 ;

横山敦 ;

五味淳 ;

安室千晃 ;

福岛利彦 ;

户岛宏至 ;

川又诚也 ;

水泽宁 ;

加藤多佳良 .

中国专利 :CN102918633A ,2013-02-06

[6]

成膜方法和成膜装置 [P].

藤田成树 ;

村上博纪 .

日本专利 :CN116065139B ,2024-11-08

[7]

成膜方法和成膜装置 [P].

周保华 ;

梅泽好太 ;

渡边要介 ;

长谷川雅之 .

中国专利 :CN102242350B ,2011-11-16

[8]

氧化膜成膜方法及氧化膜成膜装置 [P].

织田容征 ;

白幡孝洋 ;

平松孝浩 .

中国专利 :CN103648974A ,2014-03-19

[9]

成膜装置、成膜系统和成膜方法 [P].

松林信次 ;

茂山和基 ;

户部康弘 .

中国专利 :CN101501241A ,2009-08-05

[10]

成膜方法和成膜装置 [P].

三好秀典 ;

伊藤仁 ;

佐藤浩 .

中国专利 :CN102686773A ,2012-09-19

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