成膜方法和成膜装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202211326911.4

申请日：

2022-10-25

公开(公告)号：

CN116065139B

公开(公告)日：

2024-11-08

发明(设计)人：

藤田成树村上博纪

申请人：

东京毅力科创株式会社

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

C23C16/50

IPC分类号：

C23C16/455 C23C16/04 C23C16/40 H01L21/02

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-11-08	授权	授权

共 50 条

[1]

成膜装置和成膜方法 [P].

佐佐木和男 ;

町山弥 ;

齐藤均 ;

佐佐木芳彦 .

日本专利 :CN115522181B ,2024-07-30

[2]

成膜方法和成膜装置 [P].

熊谷武司 ;

尾谷宗之 ;

大久保和哉 .

中国专利 :CN105039929B ,2015-11-11

[3]

成膜装置和成膜方法 [P].

佐佐木和男 ;

町山弥 ;

齐藤均 ;

佐佐木芳彦 .

中国专利 :CN115522181A ,2022-12-27

[4]

成膜方法和成膜装置 [P].

小野寺聪 ;

户根川大和 ;

小川淳 .

日本专利 :CN118086867A ,2024-05-28

[5]

成膜方法和成膜装置 [P].

加藤寿 ;

牛窪繁博 ;

田村辰也 ;

尾崎成则 ;

熊谷武司 ;

菊地宏之 .

中国专利 :CN102787304A ,2012-11-21

[6]

成膜方法和成膜装置 [P].

高木聪 ;

北村和也 ;

蔡秀林 .

日本专利 :CN112582254B ,2025-07-29

[7]

成膜方法和成膜装置 [P].

藤田成树 .

日本专利 :CN120530226A ,2025-08-22

[8]

成膜装置和成膜方法 [P].

福岛讲平 .

中国专利 :CN104947081A ,2015-09-30

[9]

成膜装置和成膜方法 [P].

松浦广行 .

中国专利 :CN1837404A ,2006-09-27

[10]

成膜方法和成膜装置 [P].

高桥毅 ;

柿本明修 ;

通口健介 ;

出野由和 ;

佐野正树 .

日本专利 :CN120659906A ,2025-09-16

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