成膜装置和成膜方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202210681604.1

申请日：

2022-06-15

公开(公告)号：

CN115522181B

公开(公告)日：

2024-07-30

发明(设计)人：

佐佐木和男町山弥齐藤均佐佐木芳彦

申请人：

东京毅力科创株式会社

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

C23C16/455

IPC分类号：

C23C16/34 C23C16/54 C23C16/44

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇;张会华

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-07-30	授权	授权

共 50 条

[1]

成膜装置和成膜方法 [P].

佐佐木和男 ;

町山弥 ;

齐藤均 ;

佐佐木芳彦 .

中国专利 :CN115522181A ,2022-12-27

[2]

成膜方法和成膜装置 [P].

熊谷武司 ;

尾谷宗之 ;

大久保和哉 .

中国专利 :CN105039929B ,2015-11-11

[3]

成膜方法和成膜装置 [P].

藤田成树 ;

村上博纪 .

日本专利 :CN116065139B ,2024-11-08

[4]

成膜方法和成膜装置 [P].

池内俊之 ;

周保华 ;

山本和弥 ;

世良贤太郎 .

中国专利 :CN102345111A ,2012-02-08

[5]

成膜方法和成膜装置 [P].

小野寺聪 ;

户根川大和 ;

小川淳 .

日本专利 :CN118086867A ,2024-05-28

[6]

成膜方法和成膜装置 [P].

加藤寿 ;

牛窪繁博 ;

田村辰也 ;

尾崎成则 ;

熊谷武司 ;

菊地宏之 .

中国专利 :CN102787304A ,2012-11-21

[7]

成膜方法和成膜装置 [P].

藤田成树 .

日本专利 :CN120530226A ,2025-08-22

[8]

成膜装置和成膜方法 [P].

福岛讲平 .

中国专利 :CN104947081A ,2015-09-30

[9]

成膜方法和成膜装置 [P].

高桥毅 ;

柿本明修 ;

通口健介 ;

出野由和 ;

佐野正树 .

日本专利 :CN120659906A ,2025-09-16

[10]

成膜方法和成膜装置 [P].

三浦纮树 ;

小堆正人 .

中国专利 :CN110218989B ,2019-09-10

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