成膜方法和成膜装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910154884.9

申请日：

2019-03-01

公开(公告)号：

CN110218989B

公开(公告)日：

2019-09-10

发明(设计)人：

三浦纮树小堆正人

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

C23C16455

IPC分类号：

C23C1602

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-08-05	授权	授权
2019-09-10	公开	公开
2020-09-18	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/455 申请日:20190301

共 50 条

[1]

成膜方法和成膜装置 [P].

门田太一 .

中国专利 :CN110714191B ,2020-01-21

[2]

成膜装置和成膜方法 [P].

福岛讲平 .

中国专利 :CN104947081A ,2015-09-30

[3]

成膜方法和成膜装置 [P].

铃木启介 ;

村上博纪 ;

菱屋晋吾 ;

门永健太郎 ;

小幡穣 .

中国专利 :CN104928647A ,2015-09-23

[4]

成膜方法和成膜装置 [P].

熊谷武司 ;

尾谷宗之 ;

大久保和哉 .

中国专利 :CN105039929B ,2015-11-11

[5]

成膜装置和成膜方法 [P].

加藤寿 ;

本间学 ;

菊地宏之 .

中国专利 :CN101826446A ,2010-09-08

[6]

成膜方法和成膜装置 [P].

加藤寿 ;

牛窪繁博 ;

田村辰也 ;

尾崎成则 ;

熊谷武司 ;

菊地宏之 .

中国专利 :CN102787304A ,2012-11-21

[7]

成膜装置和成膜方法 [P].

加藤寿 ;

本间学 ;

菊地宏之 .

中国专利 :CN101859694B ,2010-10-13

[8]

成膜方法和成膜装置 [P].

芦泽宏明 ;

藤井康 ;

高桥毅 ;

洪锡亨 ;

山崎和良 ;

中村秀雄 ;

布重裕 ;

神尾卓史 .

中国专利 :CN108796471B ,2018-11-13

[9]

成膜方法和成膜装置 [P].

藤田成树 .

日本专利 :CN120530226A ,2025-08-22

[10]

成膜方法和成膜装置 [P].

高桥毅 ;

柿本明修 ;

通口健介 ;

出野由和 ;

佐野正树 .

日本专利 :CN120659906A ,2025-09-16

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