成膜方法和成膜装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810400288.X

申请日：

2018-04-28

公开(公告)号：

CN108796471B

公开(公告)日：

2018-11-13

发明(设计)人：

芦泽宏明藤井康高桥毅洪锡亨山崎和良中村秀雄布重裕神尾卓史

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

C23C16455

IPC分类号：

C23C1634

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-12-07	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/455 申请日:20180428
2020-10-16	授权	授权
2018-11-13	公开	公开

共 50 条

[1]

成膜方法和成膜装置 [P].

门田太一 .

中国专利 :CN110714191B ,2020-01-21

[2]

成膜方法和成膜装置 [P].

高桥毅 ;

柿本明修 ;

通口健介 ;

出野由和 ;

佐野正树 .

日本专利 :CN120659906A ,2025-09-16

[3]

成膜方法和成膜装置 [P].

三浦纮树 ;

小堆正人 .

中国专利 :CN110218989B ,2019-09-10

[4]

成膜方法和成膜装置 [P].

铃木启介 ;

村上博纪 ;

菱屋晋吾 ;

门永健太郎 ;

小幡穣 .

中国专利 :CN104928647A ,2015-09-23

[5]

成膜方法和成膜装置 [P].

池内俊之 ;

周保华 ;

山本和弥 ;

世良贤太郎 .

中国专利 :CN102345111A ,2012-02-08

[6]

成膜方法和成膜装置 [P].

藤田成树 .

日本专利 :CN120530226A ,2025-08-22

[7]

成膜装置和成膜方法 [P].

福岛讲平 .

中国专利 :CN104947081A ,2015-09-30

[8]

成膜装置和成膜方法 [P].

佐佐木和男 ;

町山弥 ;

齐藤均 ;

佐佐木芳彦 .

日本专利 :CN115522181B ,2024-07-30

[9]

成膜装置和成膜方法 [P].

古屋雄一 ;

田中雅之 .

日本专利 :CN121006520A ,2025-11-25

[10]

成膜方法和成膜装置 [P].

小岛康彦 ;

池田太郎 ;

波多野达夫 .

中国专利 :CN101484609A ,2009-07-15

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