成膜装置和成膜方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202511188296.9

申请日：

2019-07-16

公开(公告)号：

CN121006520A

公开(公告)日：

2025-11-25

发明(设计)人：

古屋雄一田中雅之

申请人：

东京毅力科创株式会社

申请人地址：

日本

IPC主分类号：

C23C16/16

IPC分类号：

C23C16/448 C23C16/455 C23C16/52

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

王小香;李靖

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-11-25	公开	公开
2025-12-12	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 16/16申请日:20190716

共 50 条

[1]

成膜方法和成膜装置 [P].

池内俊之 ;

周保华 ;

山本和弥 ;

世良贤太郎 .

中国专利 :CN102345111A ,2012-02-08

[2]

成膜装置、原料供给装置以及成膜方法 [P].

古屋雄一 ;

田中雅之 .

中国专利 :CN110735124A ,2020-01-31

[3]

成膜装置和成膜方法 [P].

福岛讲平 .

中国专利 :CN104947081A ,2015-09-30

[4]

成膜方法和成膜装置 [P].

高桥毅 ;

柿本明修 ;

通口健介 ;

出野由和 ;

佐野正树 .

日本专利 :CN120659906A ,2025-09-16

[5]

成膜方法和成膜装置 [P].

小岛康彦 ;

池田太郎 ;

波多野达夫 .

中国专利 :CN101484609A ,2009-07-15

[6]

成膜装置和成膜方法 [P].

松本贤治 ;

三好秀典 .

中国专利 :CN102395705A ,2012-03-28

[7]

成膜方法和成膜装置 [P].

松本贤治 ;

迫田智幸 ;

那须胜行 ;

池田岳 .

中国专利 :CN100541737C ,2007-07-04

[8]

成膜方法和成膜装置 [P].

铃木启介 ;

村上博纪 ;

菱屋晋吾 ;

门永健太郎 ;

小幡穣 .

中国专利 :CN104928647A ,2015-09-23

[9]

成膜方法和成膜装置 [P].

芦泽宏明 ;

藤井康 ;

高桥毅 ;

洪锡亨 ;

山崎和良 ;

中村秀雄 ;

布重裕 ;

神尾卓史 .

中国专利 :CN108796471B ,2018-11-13

[10]

成膜方法和成膜装置 [P].

大仓成幸 ;

山中孟 .

中国专利 :CN104471106A ,2015-03-25

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