成膜装置和成膜方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010145553.8

申请日：

2010-04-08

公开(公告)号：

CN101859694B

公开(公告)日：

2010-10-13

发明(设计)人：

加藤寿本间学菊地宏之

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L2100

IPC分类号：

C23C1646 C23C16455

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇;张会华

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-03-27	授权	授权
2011-12-07	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101149545268 IPC(主分类):H01L 21/00 专利申请号:2010101455538 申请日:20100408
2010-10-13	公开	公开

共 50 条

[1]

成膜方法和成膜装置 [P].

加藤寿 ;

牛窪繁博 ;

田村辰也 ;

尾崎成则 ;

熊谷武司 ;

菊地宏之 .

中国专利 :CN102787304A ,2012-11-21

[2]

成膜装置和成膜方法 [P].

加藤寿 ;

本间学 ;

菊地宏之 .

中国专利 :CN101826446A ,2010-09-08

[3]

成膜方法和成膜装置 [P].

门田太一 .

中国专利 :CN110714191B ,2020-01-21

[4]

成膜装置和成膜方法 [P].

福岛讲平 .

中国专利 :CN104947081A ,2015-09-30

[5]

成膜方法和成膜装置 [P].

三浦纮树 ;

小堆正人 .

中国专利 :CN110218989B ,2019-09-10

[6]

成膜方法和成膜装置 [P].

铃木启介 ;

村上博纪 ;

菱屋晋吾 ;

门永健太郎 ;

小幡穣 .

中国专利 :CN104928647A ,2015-09-23

[7]

成膜装置和成膜方法 [P].

尾崎成则 ;

加藤寿 ;

熊谷武司 .

中国专利 :CN102383109B ,2012-03-21

[8]

成膜装置和成膜方法 [P].

加藤寿 ;

熊谷武司 .

中国专利 :CN102732854B ,2012-10-17

[9]

成膜方法和成膜装置 [P].

熊谷武司 ;

尾谷宗之 ;

大久保和哉 .

中国专利 :CN105039929B ,2015-11-11

[10]

成膜装置及成膜方法 [P].

加藤寿 ;

织户康一 ;

菊地宏之 ;

尾谷宗之 ;

熊谷武司 ;

成岛健索 ;

西森崇 .

中国专利 :CN102108496A ,2011-06-29

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