成膜方法和成膜装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010288943.4

申请日：

2020-04-14

公开(公告)号：

CN111850512A

公开(公告)日：

2020-10-30

发明(设计)人：

菊池康晃山口达也小原一辉草岛龙司

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

C23C16455

IPC分类号：

C23C1652 H01L2102

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司 11322

代理人：

龙淳;徐飞跃

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-10-30	公开	公开
2021-10-29	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/455 申请日:20200414

共 50 条

[1]

成膜装置和成膜方法 [P].

今北健一 ;

小野一修 ;

北田亨 ;

佐藤圭祐 ;

五味淳 ;

横原宏行 ;

曽根浩 .

中国专利 :CN113366139A ,2021-09-07

[2]

成膜装置、成膜系统和成膜方法 [P].

松林信次 ;

茂山和基 ;

户部康弘 .

中国专利 :CN101501241A ,2009-08-05

[3]

成膜方法和成膜装置 [P].

三好秀典 ;

伊藤仁 ;

佐藤浩 .

中国专利 :CN102686773A ,2012-09-19

[4]

成膜装置和成膜方法 [P].

铃木悠介 ;

守屋刚 ;

光成正 ;

岩下伸也 ;

森贞佳纪 ;

野吕尚孝 ;

加贺谷宗仁 ;

田中谕志 .

中国专利 :CN112513324A ,2021-03-16

[5]

成膜方法和成膜装置 [P].

门田太一 .

中国专利 :CN110714191B ,2020-01-21

[6]

成膜方法和成膜装置 [P].

高藤哲也 ;

内田博章 ;

渡边幸夫 ;

里吉务 ;

佐佐木和男 ;

吉田守 .

中国专利 :CN108866508B ,2018-11-23

[7]

成膜装置和成膜方法 [P].

前田幸治 ;

岛田笃史 ;

及川克志 ;

宫下哲也 .

中国专利 :CN114174552A ,2022-03-11

[8]

成膜装置和成膜方法 [P].

松浦广行 .

中国专利 :CN1837404A ,2006-09-27

[9]

成膜装置和成膜方法 [P].

高桥毅 ;

青山真太郎 ;

品田敬宏 ;

川上雅人 .

中国专利 :CN100576460C ,2008-04-02

[10]

成膜方法和成膜装置 [P].

山崎英亮 ;

河野有美子 .

中国专利 :CN101253282A ,2008-08-27

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