成膜装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202210985436.5

申请日：

2022-08-17

公开(公告)号：

CN115725955B

公开(公告)日：

2025-07-22

发明(设计)人：

佐藤英儿坂本仁志

申请人：

新烯科技有限公司

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

C23C16/455

IPC分类号：

C23C16/50 C23C16/40

代理机构：

北京三友知识产权代理有限公司 11127

代理人：

王博;褚瑶杨

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-22	授权	授权

共 50 条

[1]

成膜装置和成膜方法 [P].

千田二郎 ;

大岛元启 ;

石田耕三 ;

富永浩二 .

中国专利 :CN100527362C ,2008-03-12

[2]

成膜方法及成膜装置 [P].

吉井直树 ;

小岛康彦 .

中国专利 :CN100523293C ,2007-07-25

[3]

氧化膜成膜方法及氧化膜成膜装置 [P].

织田容征 ;

白幡孝洋 ;

平松孝浩 .

中国专利 :CN103648974A ,2014-03-19

[4]

成膜方法和成膜装置 [P].

松本贤治 ;

迫田智幸 ;

那须胜行 ;

池田岳 .

中国专利 :CN100541737C ,2007-07-04

[5]

成膜装置和成膜方法 [P].

长谷川彰 ;

黑田俊也 ;

真田隆 .

中国专利 :CN103154313B ,2013-06-12

[6]

成膜装置和成膜方法 [P].

今北健一 ;

小野一修 ;

北田亨 ;

佐藤圭祐 ;

五味淳 ;

横原宏行 ;

曽根浩 .

中国专利 :CN113366139A ,2021-09-07

[7]

成膜装置 [P].

今北健一 ;

小岛康彦 ;

五味淳 ;

横原宏行 ;

曾根浩 .

中国专利 :CN112011768A ,2020-12-01

[8]

金属氧化膜的成膜方法、氧化锰膜的成膜方法及计算机可读取存储介质 [P].

根石浩司 ;

小池淳一 ;

松本贤治 .

中国专利 :CN102648513A ,2012-08-22

[9]

金属氧化膜的成膜 [P].

古屋治彦 .

中国专利 :CN101302608A ,2008-11-12

[10]

金属氧化膜的成膜方法及金属氧化膜的成膜装置 [P].

织田容征 ;

吉田章男 ;

小仓正久 ;

白幡孝洋 ;

田中修司 .

中国专利 :CN102165096A ,2011-08-24

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