成膜方法及成膜装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200580027616.7

申请日：

2005-11-29

公开(公告)号：

CN100523293C

公开(公告)日：

2007-07-25

发明(设计)人：

吉井直树小岛康彦

申请人：

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

C23C1652

IPC分类号：

C23C1414 C23C1434 C23C16455 C23C2802 H01L21285 H01L213205 H01L2352

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司

代理人：

龙淳

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-01-29	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101565522222 IPC(主分类):C23C 16/52 专利号:ZL2005800276167 申请日:20051129 授权公告日:20090805 终止日期:20121129
2009-08-05	授权	授权
2007-07-25	公开	公开
2007-09-19	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

成膜方法及成膜装置 [P].

佐藤英儿 ;

坂本仁志 .

中国专利 :CN114651087A ,2022-06-21

[2]

成膜装置及成膜方法 [P].

长町学 ;

安藤瞭汰 ;

辰巳夏生 ;

安东靖典 .

日本专利 :CN118510939A ,2024-08-16

[3]

成膜方法及成膜装置 [P].

中村秀雄 ;

芹泽洋介 ;

出野由和 ;

芦泽宏明 ;

清水隆也 ;

村上诚志 .

中国专利 :CN110578130B ,2019-12-17

[4]

成膜装置及成膜方法 [P].

小川淳 .

中国专利 :CN112442680A ,2021-03-05

[5]

成膜装置和成膜方法 [P].

长谷川彰 ;

黑田俊也 ;

真田隆 .

中国专利 :CN103154313B ,2013-06-12

[6]

成膜装置 [P].

佐藤英儿 ;

坂本仁志 .

日本专利 :CN115725955B ,2025-07-22

[7]

成膜装置及成膜方法 [P].

五户成史 ;

原田雅通 ;

加藤伸幸 .

中国专利 :CN101052744A ,2007-10-10

[8]

成膜装置及成膜方法 [P].

藤森正成 ;

峰利之 ;

大桥直史 .

中国专利 :CN103088317A ,2013-05-08

[9]

成膜方法及成膜装置 [P].

市冈圣菜 ;

吉牟田利典 ;

德田敏 ;

吉冈尚规 ;

上野智子 ;

尾崎悟 .

中国专利 :CN106978582A ,2017-07-25

[10]

成膜装置及成膜方法 [P].

加藤寿 ;

三浦繁博 .

中国专利 :CN103243309A ,2013-08-14

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