成膜装置和成膜方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110303041.4

申请日：

2011-09-29

公开(公告)号：

CN102433547B

公开(公告)日：

2012-05-02

发明(设计)人：

加藤寿竹内靖

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

C23C16455

IPC分类号：

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇;张会华

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-06-12	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101469721806 IPC(主分类):C23C 16/455 专利申请号:2011103030414 申请日:20110929
2015-09-09	授权	授权
2012-05-02	公开	公开
2022-09-23	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 16/455 申请日:20110929 授权公告日:20150909 终止日期:20210929

共 50 条

[1]

成膜装置和成膜方法 [P].

加藤寿 ;

本间学 .

中国专利 :CN101660142B ,2010-03-03

[2]

成膜装置和成膜方法 [P].

小原一辉 ;

本间学 .

中国专利 :CN101748391B ,2010-06-23

[3]

成膜装置和成膜方法 [P].

加藤寿 ;

本间学 ;

菊地宏之 .

中国专利 :CN101826446A ,2010-09-08

[4]

成膜方法和成膜装置 [P].

加藤寿 ;

牛窪繁博 ;

田村辰也 ;

尾崎成则 ;

熊谷武司 ;

菊地宏之 .

中国专利 :CN102787304A ,2012-11-21

[5]

成膜装置和成膜方法 [P].

加藤寿 ;

织户康一 .

中国专利 :CN102002685B ,2011-04-06

[6]

成膜装置和成膜方法 [P].

加藤寿 ;

本间学 ;

菊地宏之 .

中国专利 :CN101859694B ,2010-10-13

[7]

成膜装置和成膜方法 [P].

加藤寿 ;

熊谷武司 .

中国专利 :CN102732854B ,2012-10-17

[8]

成膜方法和成膜装置 [P].

加藤寿 ;

中坪敏行 ;

三浦繁博 .

中国专利 :CN103924220A ,2014-07-16

[9]

成膜装置和成膜方法 [P].

加藤寿 ;

竹内靖 .

中国专利 :CN102443782A ,2012-05-09

[10]

成膜装置、成膜方法 [P].

加藤寿 ;

小原一辉 ;

本间学 .

中国专利 :CN101665925A ,2010-03-10

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