成膜方法和成膜装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410019338.1

申请日：

2014-01-16

公开(公告)号：

CN103924220A

公开(公告)日：

2014-07-16

发明(设计)人：

加藤寿中坪敏行三浦繁博

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

C23C16458

IPC分类号：

C23C16455

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇;张会华

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-07-15	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101616965794 IPC(主分类):C23C 16/458 专利申请号:2014100193381 申请日:20140116
2014-07-16	公开	公开
2017-06-06	授权	授权

共 50 条

[1]

成膜方法和成膜装置 [P].

加藤寿 ;

牛窪繁博 ;

田村辰也 ;

尾崎成则 ;

熊谷武司 ;

菊地宏之 .

中国专利 :CN102787304A ,2012-11-21

[2]

成膜装置和成膜方法 [P].

加藤寿 ;

织户康一 .

中国专利 :CN102002685B ,2011-04-06

[3]

成膜装置和成膜方法 [P].

加藤寿 ;

竹内靖 .

中国专利 :CN102433547B ,2012-05-02

[4]

成膜装置和成膜方法 [P].

加藤寿 ;

本间学 ;

菊地宏之 .

中国专利 :CN101859694B ,2010-10-13

[5]

成膜装置和成膜方法 [P].

加藤寿 ;

熊谷武司 .

中国专利 :CN102732854B ,2012-10-17

[6]

成膜装置和成膜方法 [P].

加藤寿 ;

本间学 .

中国专利 :CN101660142B ,2010-03-03

[7]

成膜装置和成膜方法 [P].

小原一辉 ;

本间学 .

中国专利 :CN101748391B ,2010-06-23

[8]

成膜装置和成膜方法 [P].

加藤寿 ;

本间学 ;

菊地宏之 .

中国专利 :CN101826446A ,2010-09-08

[9]

成膜方法和成膜装置 [P].

藤田成树 .

日本专利 :CN120530226A ,2025-08-22

[10]

成膜装置和成膜方法 [P].

户岛宏至 ;

岩下浩之 ;

平泽达郎 .

中国专利 :CN110777340A ,2020-02-11

← 1 2 3 4 5 →