成膜装置、成膜方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910172124.7

申请日：

2009-09-04

公开(公告)号：

CN101665925A

公开(公告)日：

2010-03-10

发明(设计)人：

加藤寿小原一辉本间学

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

C23C16455

IPC分类号：

H01L2100

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所

代理人：

刘新宇;陈立航

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-07-13	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101086518421 IPC(主分类):C23C 16/455 专利申请号:2009101721247 申请日:20090904
2014-12-03	授权	授权
2010-03-10	公开	公开

共 50 条

[1]

成膜装置和成膜方法 [P].

加藤寿 ;

本间学 ;

菊地宏之 .

中国专利 :CN101826446A ,2010-09-08

[2]

成膜装置和成膜方法 [P].

加藤寿 ;

竹内靖 .

中国专利 :CN102433547B ,2012-05-02

[3]

成膜装置及成膜方法 [P].

加藤寿 ;

小原一辉 .

中国专利 :CN101676433A ,2010-03-24

[4]

成膜装置和成膜方法 [P].

加藤寿 ;

竹内靖 .

中国专利 :CN102443782A ,2012-05-09

[5]

成膜装置和成膜方法 [P].

加藤寿 ;

本间学 .

中国专利 :CN101660142B ,2010-03-03

[6]

成膜装置和成膜方法 [P].

小原一辉 ;

本间学 .

中国专利 :CN101748391B ,2010-06-23

[7]

成膜装置、基板处理装置、成膜方法 [P].

加藤寿 ;

本间学 ;

羽石朋来 ;

相川胜芳 .

中国专利 :CN101665919A ,2010-03-10

[8]

成膜方法、成膜系统以及成膜装置 [P].

山口克昌 ;

前川浩治 ;

鲛岛崇 ;

中岛滋 .

中国专利 :CN112292476A ,2021-01-29

[9]

成膜方法和成膜装置 [P].

加藤寿 ;

牛窪繁博 ;

田村辰也 ;

尾崎成则 ;

熊谷武司 ;

菊地宏之 .

中国专利 :CN102787304A ,2012-11-21

[10]

成膜方法和成膜装置 [P].

藤田成树 .

日本专利 :CN120530226A ,2025-08-22

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