成膜方法和成膜装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510711369.8

申请日：

2015-10-28

公开(公告)号：

CN106256927B

公开(公告)日：

2016-12-28

发明(设计)人：

石田将崇林达也菅原卓哉我妻伸哉宫内充祐姜友松长江亦周

申请人：

申请人地址：

日本神奈川县

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

代理机构：

北京三友知识产权代理有限公司 11127

代理人：

李辉;黄纶伟

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-02-07	授权	授权
2018-07-03	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/34 申请日:20151028
2016-12-28	公开	公开

共 50 条

[1]

成膜方法和成膜装置 [P].

加藤寿 ;

牛窪繁博 ;

田村辰也 ;

尾崎成则 ;

熊谷武司 ;

菊地宏之 .

中国专利 :CN102787304A ,2012-11-21

[2]

成膜装置和成膜方法 [P].

加藤寿 ;

织户康一 .

中国专利 :CN102002685B ,2011-04-06

[3]

成膜装置和成膜方法 [P].

加藤寿 ;

菱谷克幸 ;

菊地宏之 ;

牛窪繁博 ;

尾崎成则 .

中国专利 :CN102776491A ,2012-11-14

[4]

成膜装置 [P].

石田将崇 ;

林达也 ;

菅原卓哉 ;

我妻伸哉 ;

宫内充祐 ;

姜友松 ;

长江亦周 .

中国专利 :CN205062167U ,2016-03-02

[5]

成膜方法和成膜装置 [P].

小野寺聪 ;

户根川大和 ;

小川淳 .

日本专利 :CN118086867A ,2024-05-28

[6]

成膜方法和成膜装置 [P].

盐野一郎 ;

林达也 ;

姜友松 ;

长江亦周 ;

宫内充祐 ;

佐守真悟 .

中国专利 :CN103154299A ,2013-06-12

[7]

成膜装置和成膜方法 [P].

加藤寿 ;

三浦繁博 .

中国专利 :CN103526183A ,2014-01-22

[8]

成膜装置和成膜方法 [P].

前田幸治 ;

岛田笃史 ;

及川克志 ;

宫下哲也 .

中国专利 :CN114174552A ,2022-03-11

[9]

成膜方法和成膜装置 [P].

小林洋介 ;

林信博 ;

饭岛正行 ;

多田勋 .

中国专利 :CN102016106A ,2011-04-13

[10]

成膜装置和成膜方法 [P].

松浦广行 .

中国专利 :CN1837404A ,2006-09-27

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