成膜方法及成膜装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201180019919.X

申请日：

2011-09-30

公开(公告)号：

CN103140598B

公开(公告)日：

2013-06-05

发明(设计)人：

盐野一郎宫内充祐姜友松

申请人：

申请人地址：

日本国神奈川县

IPC主分类号：

C23C1402

IPC分类号：

C23C1422

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

李逸雪

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-03-26	授权	授权
2013-07-10	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101486729837 IPC(主分类):C23C 14/02 专利申请号:201180019919X 申请日:20110930
2013-06-05	公开	公开

共 50 条

[1]

成膜方法和成膜装置 [P].

盐野一郎 ;

林达也 ;

姜友松 ;

长江亦周 ;

宫内充祐 ;

佐守真悟 .

中国专利 :CN103154299A ,2013-06-12

[2]

成膜方法和成膜装置 [P].

盐野一郎 ;

林达也 ;

姜友松 ;

长江亦周 ;

宫内充祐 ;

佐守真悟 .

中国专利 :CN103154298A ,2013-06-12

[3]

成膜装置、成膜系统及成膜方法 [P].

茂山和基 ;

野泽俊久 .

中国专利 :CN101501238A ,2009-08-05

[4]

成膜装置及成膜方法 [P].

山本昌裕 .

中国专利 :CN103443324B ,2013-12-11

[5]

成膜装置及成膜方法 [P].

长町学 ;

安藤瞭汰 ;

辰巳夏生 ;

安东靖典 .

日本专利 :CN118510939A ,2024-08-16

[6]

成膜装置及成膜方法 [P].

松中繁树 ;

藤田笃史 .

日本专利 :CN116057669B ,2025-03-21

[7]

成膜装置及成膜方法 [P].

市原正浩 .

中国专利 :CN111748772A ,2020-10-09

[8]

成膜装置及成膜方法 [P].

须田具和 ;

高桥明久 .

中国专利 :CN110494590A ,2019-11-22

[9]

成膜装置及成膜方法 [P].

中尾裕利 ;

佐藤诚一 ;

柴智志 ;

坂内雄也 ;

木村孔 .

中国专利 :CN106133188A ,2016-11-16

[10]

成膜装置及成膜方法 [P].

小野大祐 .

中国专利 :CN107201503A ,2017-09-26

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