成膜装置和成膜方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200880022669.3

申请日：

2008-09-03

公开(公告)号：

CN101689500A

公开(公告)日：

2010-03-31

发明(设计)人：

高木俊夫

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L2131

IPC分类号：

C23C1644

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司

代理人：

蒋亭;苗堃

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-03-31	公开	公开
2010-05-12	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101001747304 IPC(主分类):H01L 21/31 专利申请号:2008800226693 申请日:20080903
2012-02-29	授权	授权

共 50 条

[1]

成膜装置和成膜方法 [P].

加藤寿 ;

三浦繁博 .

中国专利 :CN103526183A ,2014-01-22

[2]

成膜装置和成膜方法 [P].

加藤寿 ;

菱谷克幸 ;

菊地宏之 ;

牛窪繁博 ;

尾崎成则 .

中国专利 :CN102776491A ,2012-11-14

[3]

成膜装置和成膜方法 [P].

加藤寿 ;

竹内靖 .

中国专利 :CN102443782A ,2012-05-09

[4]

成膜装置和成膜方法 [P].

加藤寿 ;

石井亨 ;

瀬下裕志 ;

佐瀬雄一郎 .

中国专利 :CN113293360A ,2021-08-24

[5]

成膜装置和成膜方法 [P].

加藤寿 ;

三浦繁博 ;

菊地宏之 ;

相川胜芳 .

中国专利 :CN105568259B ,2016-05-11

[6]

成膜方法和成膜装置 [P].

加藤寿 ;

牛窪繁博 ;

田村辰也 ;

尾崎成则 ;

熊谷武司 ;

菊地宏之 .

中国专利 :CN102787304A ,2012-11-21

[7]

成膜方法和成膜装置 [P].

盐野一郎 ;

林达也 ;

姜友松 ;

长江亦周 ;

宫内充祐 ;

佐守真悟 .

中国专利 :CN103154299A ,2013-06-12

[8]

成膜方法和成膜装置 [P].

松本贤治 ;

伊藤仁 ;

根石浩司 ;

小池淳一 .

中国专利 :CN102306627A ,2012-01-04

[9]

成膜装置和成膜方法 [P].

福岛讲平 .

中国专利 :CN104947081A ,2015-09-30

[10]

成膜方法和成膜装置 [P].

高藤哲也 ;

内田博章 ;

渡边幸夫 ;

里吉务 ;

佐佐木和男 ;

吉田守 .

中国专利 :CN108866508B ,2018-11-23

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