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一种等离子体处理装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202321957337.2
申请日：
2023-07-24
公开(公告)号：
CN220585185U
公开(公告)日：
2024-03-12
发明(设计)人：
朱永成
王智昊
杨宽
申请人：
中微半导体设备（上海）股份有限公司
申请人地址：
201201 上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号
IPC主分类号：
H01J37/32
IPC分类号：
H01L21/3065
代理机构：
上海元好知识产权代理有限公司 31323
代理人：
王振;徐雯琼
法律状态：
授权
国省代码：
上海市
市辖区
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-03-12 | 授权 | 授权 |