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等离子体处理装置
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN201880066141.X
申请日
:
2018-09-03
公开(公告)号
:
CN111201838A
公开(公告)日
:
2020-05-26
发明(设计)人
:
D·万德克
M·哈恩尔
K-O·施托克
L·特鲁特威格
M·里克
申请人
:
申请人地址
:
德国杜德施塔特
IPC主分类号
:
H05H124
IPC分类号
:
A46B1500
代理机构
:
永新专利商标代理有限公司 72002
代理人
:
韩长永
法律状态
:
实质审查的生效
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2020-09-22
实质审查的生效
实质审查的生效 IPC(主分类):H05H 1/24 申请日:20180903
2020-05-26
公开
公开
共 50 条
[1]
等离子体处理装置、等离子体处理方法
[P].
舆水地盐
论文数:
0
引用数:
0
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舆水地盐
.
中国专利
:CN101908460A
,2010-12-08
[2]
等离子体处理装置、等离子体处理方法
[P].
石川拓
论文数:
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石川拓
;
户部康弘
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户部康弘
.
中国专利
:CN101622698B
,2010-01-06
[3]
等离子体处理装置与等离子体处理方法
[P].
田口典幸
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田口典幸
;
泽田康志
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泽田康志
;
松永浩一
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松永浩一
.
中国专利
:CN1611098A
,2005-04-27
[4]
等离子体处理装置以及等离子体处理方法
[P].
奥村智洋
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奥村智洋
;
川浦广
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川浦广
.
中国专利
:CN104641730A
,2015-05-20
[5]
等离子体处理装置和等离子体处理方法
[P].
山泽阳平
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山泽阳平
.
中国专利
:CN102194639B
,2011-09-21
[6]
等离子体处理装置和等离子体处理方法
[P].
镰田英纪
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机构:
东京毅力科创株式会社
东京毅力科创株式会社
镰田英纪
;
池田太郎
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机构:
东京毅力科创株式会社
东京毅力科创株式会社
池田太郎
;
佐藤干夫
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机构:
东京毅力科创株式会社
东京毅力科创株式会社
佐藤干夫
;
山本伸彦
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机构:
东京毅力科创株式会社
东京毅力科创株式会社
山本伸彦
.
日本专利
:CN112788826B
,2024-09-13
[7]
等离子体处理装置和等离子体处理方法
[P].
山泽阳平
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山泽阳平
;
齐藤昌司
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齐藤昌司
;
传宝一树
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传宝一树
;
輿水地盐
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輿水地盐
;
山涌纯
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山涌纯
.
中国专利
:CN102056396A
,2011-05-11
[8]
等离子体处理装置以及等离子体处理方法
[P].
山泽阳平
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山泽阳平
;
舆水地盐
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舆水地盐
;
齐藤昌司
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齐藤昌司
;
传宝一树
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传宝一树
;
山涌纯
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山涌纯
;
饭塚八城
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饭塚八城
.
中国专利
:CN102054649A
,2011-05-11
[9]
等离子体处理方法和等离子体处理装置
[P].
镰田英纪
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镰田英纪
;
佐藤干夫
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佐藤干夫
;
池田太郎
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池田太郎
;
山本伸彦
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山本伸彦
.
中国专利
:CN113615322A
,2021-11-05
[10]
等离子体处理装置和等离子体处理方法
[P].
米泽亮太
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米泽亮太
;
高桥哲朗
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高桥哲朗
;
大崎良规
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大崎良规
;
铃木公贵
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铃木公贵
;
齐藤智博
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齐藤智博
;
山下润
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山下润
;
佐藤吉宏
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佐藤吉宏
;
盐泽俊彦
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盐泽俊彦
;
山崎幸一
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山崎幸一
;
古木和弘
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古木和弘
.
中国专利
:CN102753727A
,2012-10-24
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