等离子体处理方法和等离子体处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202080024028.2

申请日：

2020-03-23

公开(公告)号：

CN113615322A

公开(公告)日：

2021-11-05

发明(设计)人：

镰田英纪佐藤干夫池田太郎山本伸彦

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H05H146

IPC分类号：

H01L21205 H01L213065

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司 11322

代理人：

龙淳;池兵

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-11-05	公开	公开
2021-11-23	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H05H 1/46 申请日:20200323

共 50 条

[1]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

镰田英纪 ;

佐藤干夫 ;

池田太郎 ;

山本伸彦 .

日本专利 :CN113615322B ,2024-08-02

[2]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

镰田英纪 ;

池田太郎 ;

佐藤干夫 ;

山本伸彦 .

日本专利 :CN112788826B ,2024-09-13

[3]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

镰田英纪 ;

池田太郎 ;

佐藤干夫 ;

山本伸彦 .

中国专利 :CN112788826A ,2021-05-11

[4]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

池田太郎 ;

久保敦史 ;

镰田英纪 ;

山本伸彦 .

中国专利 :CN112509900A ,2021-03-16

[5]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

池田太郎 ;

久保敦史 ;

镰田英纪 ;

山本伸彦 .

日本专利 :CN112509900B ,2024-05-31

[6]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

山泽阳平 .

中国专利 :CN102194639B ,2011-09-21

[7]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

山泽阳平 ;

齐藤昌司 ;

传宝一树 ;

輿水地盐 ;

山涌纯 .

中国专利 :CN102056396A ,2011-05-11

[8]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

镰田英纪 ;

池田太郎 ;

古屋治彦 .

中国专利 :CN114107950A ,2022-03-01

[9]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

米泽亮太 ;

高桥哲朗 ;

大崎良规 ;

铃木公贵 ;

齐藤智博 ;

山下润 ;

佐藤吉宏 ;

盐泽俊彦 ;

山崎幸一 ;

古木和弘 .

中国专利 :CN102753727A ,2012-10-24

[10]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

田才忠 ;

野泽俊久 .

中国专利 :CN101347051B ,2009-01-14

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