稀土掺杂IZO氧化物靶材及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410090130.2

申请日：

2024-01-22

公开(公告)号：

CN117926194A

公开(公告)日：

2024-04-26

发明(设计)人：

陈立甲张雪凤孙本双王之君陈重阳韩冰雪

申请人：

郑州大学

申请人地址：

450001 河南省郑州市高新技术开发区科学大道100号

IPC主分类号：

C23C14/34

IPC分类号：

C04B35/01 C04B35/622 C04B35/453 C04B35/63

代理机构：

广东众达律师事务所 44431

代理人：

张雪华

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

江苏省常州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-05-14	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/34申请日:20240122
2024-04-26	公开	公开

共 50 条

[1]

一种稀土掺杂IZO靶材的制备方法 [P].

王志强 ;

曾墩风 ;

曾探 ;

陈光园 .

中国专利 :CN117088678B ,2025-07-04

[2]

稀土钡铜氧化物超导靶材及其制备方法 [P].

朱林 ;

孙本双 .

中国专利 :CN118561589A ,2024-08-30

[3]

一种IZO掺杂靶材及其制备方法 [P].

曾墩风 ;

王志强 ;

石煜 ;

陶成 .

中国专利 :CN113651598B ,2021-11-16

[4]

稀土钡铜氧化物超导靶材及其制备方法 [P].

刘苗 ;

朱林 ;

孙本双 ;

刘洋 .

中国专利 :CN119263808A ,2025-01-07

[5]

锡氧化物靶材及其制备方法 [P].

庄大明 ;

赵明 ;

郭力 ;

曹明杰 ;

李晓龙 ;

孙汝军 .

中国专利 :CN106191774A ,2016-12-07

[6]

一种氧化物靶材的制备方法以及镨掺杂IGZO氧化物靶材 [P].

葛春桥 ;

李强 ;

钟威平 ;

高洋 .

中国专利 :CN118108497B ,2025-12-16

[7]

一种氧化物靶材的制备方法以及镨掺杂IGZO氧化物靶材 [P].

葛春桥 ;

李强 ;

钟威平 ;

高洋 .

中国专利 :CN118108497A ,2024-05-31

[8]

一种氧化物烧结体及其制备方法、氧化物靶材及应用 [P].

徐华 ;

杨开霞 .

中国专利 :CN117776675A ,2024-03-29

[9]

稀土配合物、稀土氧化物及其制备方法 [P].

朱英杰 ;

陈峰 .

中国专利 :CN101665503B ,2010-03-10

[10]

稀土配合物、稀土氧化物及其制备方法 [P].

朱英杰 ;

陈峰 .

中国专利 :CN102351235A ,2012-02-15

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