一种稀土掺杂IZO靶材的制备方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202310985963.0
申请日
2023-08-07
公开(公告)号
CN117088678B
公开(公告)日
2025-07-04
发明(设计)人
王志强 曾墩风 曾探 陈光园
申请人
芜湖映日科技股份有限公司
申请人地址
241000 安徽省芜湖市(安徽)自由贸易试验区芜湖片区衡山路南侧、凤鸣湖北路西侧1#厂房
IPC主分类号
C04B35/01
IPC分类号
C04B35/622 C04B35/626 C04B35/63 C04B35/64 C23C14/08 C23C14/34
代理机构
南京正联知识产权代理有限公司 32243
代理人
杨静
法律状态
授权
国省代码
河北省 唐山市
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共 50 条
[1]
稀土掺杂IZO氧化物靶材及其制备方法 [P]. 
陈立甲 ;
张雪凤 ;
孙本双 ;
王之君 ;
陈重阳 ;
韩冰雪 .
中国专利 :CN117926194A ,2024-04-26
[2]
一种稀土掺杂的ITO靶材及其制备方法 [P]. 
曾探 ;
曾墩风 ;
王志强 ;
陈光园 ;
赵岩 .
中国专利 :CN116715516B ,2024-08-30
[3]
IZO陶瓷靶材及其制备方法 [P]. 
王之君 ;
薛建设 ;
王梦迪 ;
孙本双 ;
刘苗 ;
王成铎 ;
陈杰 ;
刘洋 ;
曾学云 .
中国专利 :CN118754608A ,2024-10-11
[4]
一种IZO靶材的回收方法 [P]. 
李开杰 ;
邵学亮 ;
张来稳 ;
司振华 ;
朱刘 .
中国专利 :CN113149612A ,2021-07-23
[5]
一种钠掺杂钼平面靶材的制备方法 [P]. 
朱琦 ;
王娜 ;
王林 ;
陈强 .
中国专利 :CN105112859B ,2015-12-02
[6]
稀土掺杂水凝胶的制备方法 [P]. 
张明 ;
焦联联 ;
严长浩 ;
武莉萍 ;
潘生林 ;
高坡 .
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[7]
一种镧掺杂钛酸钡靶材的制备方法 [P]. 
耿寒松 ;
曹彦伟 ;
张如意 ;
裴宇娟 ;
宋洋 ;
毕佳畅 ;
彭邵勤 .
中国专利 :CN112500155B ,2022-06-14
[8]
一种稀土掺杂的钛酸钡粒子及其制备方法 [P]. 
彭铁缆 ;
匡建波 ;
汤育才 .
中国专利 :CN101875558B ,2010-11-03
[9]
用于RPD薄膜的氧化钽掺杂氧化锡靶材的制备方法 [P]. 
陈杰 ;
王诗 ;
王海龙 ;
孙本双 ;
何季麟 .
中国专利 :CN118063206A ,2024-05-24
[10]
一种Li掺杂ZnO陶瓷靶材制备工艺 [P]. 
张跃 ;
唐立丹 ;
刘邦武 .
中国专利 :CN101186494A ,2008-05-28