一种Li掺杂ZnO陶瓷靶材制备工艺

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710178957.5

申请日：

2007-12-07

公开(公告)号：

CN101186494A

公开(公告)日：

2008-05-28

发明(设计)人：

张跃唐立丹刘邦武

申请人：

申请人地址：

100083北京市海淀区学院路30号

IPC主分类号：

C04B35453

IPC分类号：

C04B35622

代理机构：

北京华谊知识产权代理有限公司

代理人：

刘月娥

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-07-23	实质审查的生效	实质审查的生效
2014-02-05	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101567130463 IPC(主分类):C04B 35/453 专利号:ZL2007101789575 申请日:20071207 授权公告日:20100811 终止日期:20121207
2010-08-11	授权	授权
2008-05-28	公开	公开

共 50 条

[1]

一种ZnO掺杂SnO2靶材及其制备方法 [P].

文崇斌 ;

余芳 ;

朱刘 ;

童培云 ;

罗海奇 ;

曾成亮 .

中国专利 :CN114560692B ,2022-05-31

[2]

一种制备Mn掺杂ZnO的方法 [P].

董晓霞 ;

李锦 ;

吴本泽 .

中国专利 :CN108423707A ,2018-08-21

[3]

一种复合靶材的凝胶法制备工艺 [P].

张莉兰 ;

王恒煜 ;

高建成 ;

余芳 ;

钟小华 .

中国专利 :CN117550887A ,2024-02-13

[4]

IZO陶瓷靶材及其制备方法 [P].

王之君 ;

薛建设 ;

王梦迪 ;

孙本双 ;

刘苗 ;

王成铎 ;

陈杰 ;

刘洋 ;

曾学云 .

中国专利 :CN118754608A ,2024-10-11

[5]

一种BiFeO3陶瓷靶材及其制备方法 [P].

赵世峰 ;

赵怀亮 ;

白玉龙 ;

邬新 .

中国专利 :CN106278240A ,2017-01-04

[6]

一种抑制陶瓷相生成的钛硅阴极靶材制备方法 [P].

李其仲 ;

高望舒 ;

涂溶 ;

章嵩 .

中国专利 :CN120794639A ,2025-10-17

[7]

一种稀土掺杂IZO靶材的制备方法 [P].

王志强 ;

曾墩风 ;

曾探 ;

陈光园 .

中国专利 :CN117088678B ,2025-07-04

[8]

一种氧化镍基陶瓷靶材、薄膜及薄膜制备工艺 [P].

张虎 ;

高明 ;

杨本润 ;

周丽丽 .

中国专利 :CN112624739A ,2021-04-09

[9]

一种Pt单原子掺杂ZnO压电多孔陶瓷材料制备方法 [P].

何炘阳 ;

陈龙飞 ;

陈泓铭 ;

李梦绮 ;

卢酉杰 .

中国专利 :CN120329026A ,2025-07-18

[10]

一种钼钠陶瓷靶材低温、快速烧结制备方法 [P].

李彬 ;

李召阳 ;

李继文 ;

上官林建 ;

聂福全 ;

任二洲 ;

侯少帅 ;

赵艺蔓 ;

熊浩 ;

叶海潮 .

中国专利 :CN118324524A ,2024-07-12

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