等离子体观测系统和等离子体观测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110054765.3

申请日：

2021-01-15

公开(公告)号：

CN113161252B

公开(公告)日：

2024-01-05

发明(设计)人：

山崎良二宫下大幸佐藤幹夫

申请人：

东京毅力科创株式会社

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L21/66

IPC分类号：

H01L21/3065 H01J37/32

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-01-05	授权	授权

共 50 条

[1]

等离子体观测系统和等离子体观测方法 [P].

山崎良二 ;

宫下大幸 ;

佐藤幹夫 .

中国专利 :CN113161252A ,2021-07-23

[2]

等离子体监测方法、等离子体监测装置和等离子体处理装置 [P].

松本直树 ;

山泽阳平 ;

輿水地盐 ;

松土龙夫 ;

濑川澄江 .

中国专利 :CN100520382C ,2004-10-27

[3]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

东条利洋 ;

藤井祐希 .

中国专利 :CN107275179A ,2017-10-20

[4]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

堀口贵弘 ;

冈信介 .

中国专利 :CN100536634C ,2006-11-15

[5]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

金子和史 .

中国专利 :CN114302547A ,2022-04-08

[6]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

里吉务 ;

佐藤亮 ;

佐佐木和男 ;

齐藤均 .

中国专利 :CN100543944C ,2005-11-09

[7]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

平山昌树 .

中国专利 :CN113170568A ,2021-07-23

[8]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

米泽亮太 ;

高桥哲朗 ;

大崎良规 ;

铃木公贵 ;

齐藤智博 ;

山下润 ;

佐藤吉宏 ;

盐泽俊彦 ;

山崎幸一 ;

古木和弘 .

中国专利 :CN102753727A ,2012-10-24

[9]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

笹川大成 ;

熊仓翔 .

中国专利 :CN113745103A ,2021-12-03

[10]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

塚原利也 ;

山边周平 ;

谷地晃汰 ;

佐藤徹治 ;

内田阳平 ;

铃木步太 ;

田村洋典 ;

花冈秀敏 ;

佐佐木淳一 .

日本专利 :CN111261511B ,2024-06-18

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