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一种晶圆传输机械手
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202322150144.2
申请日：
2023-08-10
公开(公告)号：
CN220796683U
公开(公告)日：
2024-04-16
发明(设计)人：
姜晔
高峰
孔德莉
申请人：
芯之谷（武汉）半导体科技有限公司
申请人地址：
430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区光谷大道特1号国际企业中心三期1栋4层03号G1051室(自贸区武汉片区)
IPC主分类号：
H01L21/677
IPC分类号：
H01L21/687
H01L21/68
代理机构：
湖北创融蓝图知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42276
代理人：
陈冲
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-04-16 | 授权 | 授权 |