一种晶圆传输机械手及晶圆传输方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410304398.1

申请日：

2024-03-18

公开(公告)号：

CN117894727A

公开(公告)日：

2024-04-16

发明(设计)人：

王强刘冬梅王勇刘广齐

申请人：

北京锐洁机器人科技有限公司天津锐洁芯导机器人有限公司

申请人地址：

100176 北京市大兴区北京经济技术开发区科创十四街99号33幢C栋603室

IPC主分类号：

H01L21/677

IPC分类号：

B25J9/00 H01L21/67

代理机构：

北京八月瓜知识产权代理有限公司 11543

代理人：

张娟芬

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

安徽省宣城市

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-05-03	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/677申请日:20240318
2024-06-07	授权	授权
2024-04-16	公开	公开

共 50 条

[1]

一种晶圆传输机械手及晶圆传输方法 [P].

王强 ;

刘冬梅 ;

王勇 ;

刘广齐 .

中国专利 :CN117894727B ,2024-06-07

[2]

晶圆传输机械手、晶圆传输方法及装置 [P].

许刚 ;

马旭 ;

靳凯强 ;

刘远航 ;

赵德文 .

中国专利 :CN119748319A ,2025-04-04

[3]

双臂晶圆传输机械手 [P].

刘延杰 ;

吴明月 ;

荣伟彬 ;

孙立宁 .

中国专利 :CN101436562B ,2009-05-20

[4]

一种晶圆传输机械手 [P].

沈凌寒 .

中国专利 :CN113113339B ,2024-04-05

[5]

一种晶圆传输机械手 [P].

沈凌寒 .

中国专利 :CN113113339A ,2021-07-13

[6]

一种晶圆传输机械手及其晶圆翻转方法 [P].

杨思远 ;

沈凌寒 ;

臧志城 .

中国专利 :CN110534472B ,2019-12-03

[7]

一种晶圆传输机械手 [P].

姜晔 ;

高峰 ;

孔德莉 .

中国专利 :CN220796683U ,2024-04-16

[8]

一种晶圆传输机械手 [P].

李旻璋 ;

李浩 .

中国专利 :CN222939908U ,2025-06-03

[9]

调平机构及晶圆传输机械手 [P].

黄渤轩 ;

贺威龙 ;

于朋扬 ;

杨树文 ;

王洪宇 .

中国专利 :CN116872185B ,2025-08-19

[10]

晶圆传输机械手的清洗装置 [P].

王晖 ;

向阳 ;

初振明 .

中国专利 :CN119527825A ,2025-02-28

← 1 2 3 4 5 →