掩膜装置及蒸镀设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202211449309.X

申请日：

2022-11-18

公开(公告)号：

CN115896689B

公开(公告)日：

2024-05-28

发明(设计)人：

许灿宏

申请人：

乐金显示光电科技（中国）有限公司

申请人地址：

510530 广东省广州市高新技术产业开发区科学城开泰大道59号

IPC主分类号：

C23C14/04

IPC分类号：

C23C14/24 C23C14/54

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

杨亚茹

法律状态：

授权

国省代码：

河北省保定市

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-05-28	授权	授权

共 50 条

[1]

掩膜装置、蒸镀设备及蒸镀方法 [P].

刘耀阳 ;

徐健 .

中国专利 :CN107435130A ,2017-12-05

[2]

掩膜板、掩膜组件及蒸镀装置 [P].

张新建 ;

刘丽国 ;

尹志 .

中国专利 :CN207775333U ,2018-08-28

[3]

掩膜板及蒸镀设备 [P].

杜森 ;

吴建鹏 ;

嵇凤丽 .

中国专利 :CN109055893B ,2018-12-21

[4]

掩膜装置及蒸镀方法 [P].

齐英旭 ;

王亚 ;

卓林海 ;

田斌 ;

郭宏伟 ;

于上智 .

中国专利 :CN113278918B ,2021-08-20

[5]

显示面板蒸镀掩膜组件冷却系统及蒸镀掩膜板 [P].

李朝 .

中国专利 :CN109402560A ,2019-03-01

[6]

掩膜板及蒸镀装置 [P].

齐英旭 ;

卓林海 ;

王亚 ;

郭宏伟 ;

田斌 ;

于上智 .

中国专利 :CN215163055U ,2021-12-14

[7]

掩膜板和蒸镀装置 [P].

徐鹏 ;

乔永康 ;

潘晟恺 ;

刘杰 .

中国专利 :CN205856592U ,2017-01-04

[8]

掩膜板及其制造方法、掩膜组件及蒸镀装置 [P].

张新建 ;

刘丽国 ;

尹志 .

中国专利 :CN107904554A ,2018-04-13

[9]

掩膜装置、蒸镀设备以及掩膜装置制备方法 [P].

徐健 ;

刘耀阳 .

中国专利 :CN107435131A ,2017-12-05

[10]

一种掩膜板及蒸镀装置 [P].

吕守华 ;

孙朴 ;

王琦 ;

张新建 ;

王震 ;

张健 .

中国专利 :CN109023238A ,2018-12-18

← 1 2 3 4 5 →