掩膜装置及蒸镀方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110544680.3

申请日：

2021-05-19

公开(公告)号：

CN113278918B

公开(公告)日：

2021-08-20

发明(设计)人：

齐英旭王亚卓林海田斌郭宏伟于上智

申请人：

申请人地址：

065500 河北省廊坊市固安县新兴产业示范区

IPC主分类号：

C23C1404

IPC分类号：

C23C1424

代理机构：

成都极刻智慧知识产权代理事务所(普通合伙) 51310

代理人：

唐维虎

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-09-07	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/04 申请日:20210519
2021-08-20	公开	公开
2023-01-31	授权	授权

共 50 条

[1]

掩膜装置、蒸镀设备及蒸镀方法 [P].

刘耀阳 ;

徐健 .

中国专利 :CN107435130A ,2017-12-05

[2]

掩膜装置及蒸镀设备 [P].

许灿宏 .

中国专利 :CN115896689B ,2024-05-28

[3]

掩膜板及蒸镀装置 [P].

齐英旭 ;

卓林海 ;

王亚 ;

郭宏伟 ;

田斌 ;

于上智 .

中国专利 :CN215163055U ,2021-12-14

[4]

蒸镀掩膜板及蒸镀装置、蒸镀工艺及测试膜层厚度的方法 [P].

程磊磊 ;

彭锐 ;

周斌 ;

王庆贺 .

中国专利 :CN107557732A ,2018-01-09

[5]

蒸镀掩膜、蒸镀掩膜的制造方法及显示设备的制造方法 [P].

田中庄介 .

中国专利 :CN111655896B ,2020-09-11

[6]

掩膜版及其制作方法、掩膜装置和蒸镀方法 [P].

浦超 ;

张大成 ;

单庆山 ;

陈小川 ;

黄寅虎 ;

杨盛际 ;

卢鹏程 ;

马召 ;

张应兵 ;

屈刘泽明 ;

苏琦 ;

谢卓洋 .

中国专利 :CN120239761A ,2025-07-01

[7]

蒸镀掩膜板 [P].

李锦雄 ;

朱永安 ;

周应平 ;

庞明 .

中国专利 :CN222349096U ,2025-01-14

[8]

掩膜装置、掩膜版固定方法及其蒸镀方法 [P].

徐健 ;

刘耀阳 .

中国专利 :CN107699853A ,2018-02-16

[9]

掩膜装置、蒸镀设备以及掩膜装置制备方法 [P].

徐健 ;

刘耀阳 .

中国专利 :CN107435131A ,2017-12-05

[10]

蒸镀掩膜、蒸镀装置、蒸镀方法及有机EL显示装置的制造方法 [P].

西田光志 ;

岸本克彥 .

中国专利 :CN109072401A ,2018-12-21

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