掩膜装置、掩膜版固定方法及其蒸镀方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710881178.5

申请日：

2017-09-26

公开(公告)号：

CN107699853A

公开(公告)日：

2018-02-16

发明(设计)人：

徐健刘耀阳

申请人：

申请人地址：

201201 上海市浦东新区汇庆路888、889号

IPC主分类号：

C23C1404

IPC分类号：

C23C1424

代理机构：

北京汇思诚业知识产权代理有限公司 11444

代理人：

王刚;龚敏

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-03-16	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/04 申请日:20170926
2019-08-02	授权	授权
2018-02-16	公开	公开

共 50 条

[1]

掩膜版及其制作方法、掩膜装置和蒸镀方法 [P].

浦超 ;

张大成 ;

单庆山 ;

陈小川 ;

黄寅虎 ;

杨盛际 ;

卢鹏程 ;

马召 ;

张应兵 ;

屈刘泽明 ;

苏琦 ;

谢卓洋 .

中国专利 :CN120239761A ,2025-07-01

[2]

掩膜装置、蒸镀设备以及掩膜装置制备方法 [P].

徐健 ;

刘耀阳 .

中国专利 :CN107435131A ,2017-12-05

[3]

掩膜装置及蒸镀方法 [P].

齐英旭 ;

王亚 ;

卓林海 ;

田斌 ;

郭宏伟 ;

于上智 .

中国专利 :CN113278918B ,2021-08-20

[4]

掩膜版、掩膜装置及掩膜版的设计优化方法 [P].

牛彤 ;

嵇凤丽 ;

吴建鹏 ;

杜森 .

中国专利 :CN112501558B ,2024-12-13

[5]

掩膜版、掩膜装置及掩膜版的设计优化方法 [P].

牛彤 ;

嵇凤丽 ;

吴建鹏 ;

杜森 .

中国专利 :CN112501558A ,2021-03-16

[6]

掩膜版及其制造方法、蒸镀装置、显示装置 [P].

曲连杰 .

中国专利 :CN109402559A ,2019-03-01

[7]

掩膜装置、蒸镀设备及蒸镀方法 [P].

刘耀阳 ;

徐健 .

中国专利 :CN107435130A ,2017-12-05

[8]

掩膜版及掩膜装置 [P].

牛彤 ;

嵇凤丽 ;

吴建鹏 ;

杜森 .

中国专利 :CN210420132U ,2020-04-28

[9]

掩膜版及掩膜装置 [P].

张春旭 ;

戴珂 ;

江鹏 ;

吴忠厚 ;

张云天 ;

邓亚飞 .

中国专利 :CN109491199A ,2019-03-19

[10]

蒸镀掩膜板、蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

李晓虎 ;

曲燕 ;

康亮亮 ;

靳倩 ;

王路 ;

王伟杰 ;

焦志强 .

中国专利 :CN117660888A ,2024-03-08

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